Ein Beitrag zur Epitaxie von elektro-optischen Doppel-Heterostruktur-Bauelementen:
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Göttingen
Cuvillier
2009
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
1 EINFUHRUNG UND UBERBLICK
1
1.1 AUFGABENSTELLUNG 2
1.2 INHALT DER ARBEIT 4
1.3 DER HETEROSTRUKTURBIPOLARTRANSISTOR 6
1.3.1 FUNKTIONSPRINZIP 6
1.3.2 GLEICHSTROMVERHALTEN 8
1.3.3 HOCHFREQUENZEIGENSCHAFTEN 10
1.3.4 S-HBT 14
1.3.5 D-HBT 17
1.4 III/V HALBLEITER 21
1.4.1 KRISTALLSTRUKTUR 23
1.4.2 EPITAXIEVERFAHREN 25
2 DIE METALLORGANISCHE GASPHASENEPITAXIE 28
2.1 QUELLENEIGENSEHAFTEN 28
2.2 GASESTEUERUNG 30
23 KRISTALLWACHSTUM 32
2.4 DIE MOVPE-ANLAGE 35
2.5 QUELLENKONFIGURATION 37
2.6 PROZESSPARAMETER 38
3 EINGESETZTE CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN 43
3.1 HAILMESSUNG 43
3.2 TRANSMISSION-LINE-MESSUNG 44
33 HOCHAUFLOSENDE RONTGENSTRUKTURANALYSE 47
3.3.1 GRUNDLAGEN 47
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/992684676
DIGITALISIERT DURCH
INHALTSVEIZEICHNIS
3.3.1 AUFBAU 48
3.3.1 GITTERFEHLANPASSUNG 49
3.3.1 UBERGITTER 52
3.3.1 SELBSTORDNUNG 53
3.3.1 SIMULATION 54
3.4 PHOTOLUMINESZENZ 56
4 KRISTALLWACHSTUM 58
4.1 INP 58
4.1.1 N-INP 59
4.1.2 P-INP 62
4.2 INGAAS 63
4.2.1 N-INGAAS 64
4.2.2 P-INGAAS 66
4.3 INALAS 68
4.3.1 P-DOTIERUNG 69
4.4 GAASSB 73
4.4.1 WACHSTUM 74
4.4.2 P-DOTIENMG 80
4.5 INGAASP 82
4.5.1 WACHSTUM 84
4.5.2 SELBSTORDNUNGSEFFEKT 86
4.6 P-INGAALAS 92
4.7 HETEROSTRUKTUREN 95
4.7.1 GAASSB/INP GRENZFLACHE 96
INHALTSVERZEICHNIS
5 ANWENDUNGEN UND BAUELEMENTEIGENSCHAFTEN 101
5.1 DOPPELHETEROSTUKTUR BIPOLARTRANSISTOREN 101
5.1.1 TECHNOLOGIE 106
5.1.2 KOMPOSIT-KOLLEKTORD-HBT 110
5.1.3 GAASSB D-HBT 112
5.1.4 FAZIT 118
5.2 OPTOELEKTRONISCHE HETEROSTRUKTUR BAUELEMENTE 119
5.2.1 HETEROSTRUKTUR-BIPOLARTRANSISTOR-ELEKTROABSORPTIONSMODULATOR 120
5.2.1.1 GETRENNTERHBT-EAMAUFBAU 122
5.2.1.2 INTEGRIERTER EAM-HBTMIT INGAAS-BASIS 125
5.2.1.3 INTEGRIERTER HBT-EAM MIT INGAAIAS-BASIS .... 129
5.2.1.4 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN 132
5.2.2 POLARISATIONSSENSITIVE BAUELEMENTE 135
5.2.2.1 PIN-DIODE 136
5.2.2.2 POLARISATIONSSCHALTER
138
6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 144
ANHANG 150
ABKURZUNGSVERZEICHNIS 150
LITERATURVERZEICHNIS 153
VEROFFENTLICHUNGEN UND TAGUNGSBEITRAGE 174
ABBUDUOGSVERZEICHNIS 183
TABELLENVERZEICHNIS 188
DANKSAGTING 189
LEBENSLAUF 191
III
|
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