Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern:
Physikalische Technik
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Wildau
TH
2015
|
| Subjects: | |
| Summary: | Physikalische Technik |
| Item Description: | unbefristet gesperrt |
| Physical Description: | VI, 60, XVI S. Ill., graph. Darst. 1 CD-ROM |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV042878477 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 150918s2015 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)926172377 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV042878477 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-526 | ||
| 100 | 1 | |a Schlößer, Alexander |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern |
| 264 | 1 | |a Wildau |b TH |c 2015 | |
| 300 | |a VI, 60, XVI S. |b Ill., graph. Darst. |e 1 CD-ROM | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a unbefristet gesperrt | ||
| 502 | |a Wildau, TH, Bachelorarbeit, A2015/0607 | ||
| 520 | |a Physikalische Technik | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Diamantähnlicher Kohlenstoff |0 (DE-588)4561133-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Diamantähnlicher Kohlenstoff |0 (DE-588)4561133-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Richter, Asta |4 dgs | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-028307428 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804175163669872641 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Schlößer, Alexander |
| author_facet | Schlößer, Alexander |
| author_role | aut |
| author_sort | Schlößer, Alexander |
| author_variant | a s as |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV042878477 |
| ctrlnum | (OCoLC)926172377 (DE-599)BVBBV042878477 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01123nam a2200337 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV042878477</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">150918s2015 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)926172377</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV042878477</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-526</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schlößer, Alexander</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Wildau</subfield><subfield code="b">TH</subfield><subfield code="c">2015</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VI, 60, XVI S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield><subfield code="e">1 CD-ROM</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">unbefristet gesperrt</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Wildau, TH, Bachelorarbeit, A2015/0607</subfield></datafield><datafield tag="520" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Physikalische Technik</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diamantähnlicher Kohlenstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4561133-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Diamantähnlicher Kohlenstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4561133-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Richter, Asta</subfield><subfield code="4">dgs</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-028307428</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV042878477 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T07:11:55Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-028307428 |
| oclc_num | 926172377 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-526 |
| owner_facet | DE-526 |
| physical | VI, 60, XVI S. Ill., graph. Darst. 1 CD-ROM |
| publishDate | 2015 |
| publishDateSearch | 2015 |
| publishDateSort | 2015 |
| publisher | TH |
| record_format | marc |
| spelling | Schlößer, Alexander Verfasser aut Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern Wildau TH 2015 VI, 60, XVI S. Ill., graph. Darst. 1 CD-ROM txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier unbefristet gesperrt Wildau, TH, Bachelorarbeit, A2015/0607 Physikalische Technik Diamantähnlicher Kohlenstoff (DE-588)4561133-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Diamantähnlicher Kohlenstoff (DE-588)4561133-6 s DE-604 Richter, Asta dgs |
| spellingShingle | Schlößer, Alexander Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern Diamantähnlicher Kohlenstoff (DE-588)4561133-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4561133-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern |
| title_auth | Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern |
| title_exact_search | Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern |
| title_full | Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern |
| title_fullStr | Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern |
| title_full_unstemmed | Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern |
| title_short | Abscheidung und Charakterisierung von DLC-Schichten mittels IC-PECVD-Verfahren auf Siliziumwafern |
| title_sort | abscheidung und charakterisierung von dlc schichten mittels ic pecvd verfahren auf siliziumwafern |
| topic | Diamantähnlicher Kohlenstoff (DE-588)4561133-6 gnd |
| topic_facet | Diamantähnlicher Kohlenstoff Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT schloßeralexander abscheidungundcharakterisierungvondlcschichtenmittelsicpecvdverfahrenaufsiliziumwafern AT richterasta abscheidungundcharakterisierungvondlcschichtenmittelsicpecvdverfahrenaufsiliziumwafern |