Rutherford-Rückstreu-Analysen mit Protonen:
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| Format: | Electronic eBook |
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| Published: |
Wiesbaden
VS Verlag für Sozialwissenschaften
1980
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| Series: | Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen, Fachgruppe Physik/Chemie/Biologie
2999 |
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| Online Access: | FLA01 Volltext |
| Item Description: | Die Rutherford-Rückstreu-Analyse gehört heute zu den Standardverfahren in der Untersuchung von Oberflächenschichten. Ihre Fähigkeit der Tiefenmikroskopie mit einer Tiefenauflösung von einigen 100 A wird vor allem zu Materialuntersuchungen in der Halbleitertechnologie und der Kernenergietechnologie genutzt. Das starke Interesse, das diese Methode gefunden hat, läßt es wünschenswert erscheinen, diese deutschsprachige Beschreibung zu veröffentlichen. Obwohl hier speziell die Verwendbarkeit der Rückstreuung zu Analysezwecken bei kleinen Energien, wie sie von Niederenergiebeschleunigern geliefert werden, untersucht wird, wurde diese Arbeit so verfaßt, daß sie auch als allgemeine Einführung in die Methode verstanden werden kann. Ihr liegt die Diplomarbeit von Herrn A. Weller zugrunde, der den elektrostatischen Analysator gebaut sowie das Spektrensimulationsprogramm geschrieben hat (Institut für Strahlen- und Kernphysik, Bonn, 1979). - 3 - Zusammenfassung Die Methode der Rutherford-Rückstreuung (RBS) erlaubt es, quantitative Analysen dünner Folien und Oberflächenanalysen mit hoher Empfindlichkeit und guter Genauigkeit durchzuführen. Zusätzlich wird Information über die Elementverteilung in einer Probe in Abhängigkeit von der Tiefe unter der Oberfläche erhalten. Besonders diese Möglichkeit der Tiefenprofilmessung zeichnet die RBS vor anderen physikalischen Analysemethoden aus |
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| ISBN: | 9783322881243 9783531029993 |
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