Technologie der Galliumarsenid-Bauelemente:
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Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1969
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| Series: | Technische Physik in Einzeldarstellungen
16 |
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| Item Description: | Während die Technologie der Germanium- und Siliziumbauelemente bereits vor Jahren eine außerordentlich rasche Entwicklung vom Laborstadium zur industriellen Massenfertigung durchgemacht hat, befindet sich die Technologie der Galliumarsenid-Bauelemente gegenwärtig in einem nur verhältnismäßig langsam fortschreitenden Prozeß des Überganges von der Laborentwicklung zur Fertigungsreife. Diese Tatsache steht in ursächlichem Zusammenhang mit den sehr erheblichen technologischen Schwierigkeiten bei der Herstellung geeigneten Galliumarsenid Materials und bei der Realisierung von Galliumarsenid-Bauelementen. Ferner sind die Ursachen einiger nachteiliger Eigenschaften von Galliumarsenid-Bauelementen (z. E. Frequenzbegrenzung bei bipolaren Transistoren, Kennlinienveränderungen bei Tunneldioden) noch nicht vollständig geklärt. In jüngster Zeit ist nun ein steigender kommerzieller Einsatz von Galliumarsenid-Bauelementen - insbesondere von Höchstfrequenzdioden und optoelektronischen Bauelementen - zu bemerken. Mit dem Einsatz von Elektronentransfer-Bauelementen kann in Kürze gerechnet werden. Es ist zu erwarten, daß diese neuere Entwicklung, die von wesentlichen Verbesserungen auf dem Materialsektor begleitet wird, auch befruchtend auf die Weiterentwicklung von "klassischen" Bauelementen (bipolare und Feldeffekttransistoren) wirkt. In dieser Situation erscheint es wünschenswert, einem möglichst großen Kreis von Fachleuten und Studierenden höherer Semester eine zusammenfassende Darstellung des heutigen Standes der Galliumarsenid-Technologie zur Verfügung zu stellen. Die jedem Kapitel beigefügten Literaturverzeichnisse sollen eine Hilfestellung für den an Einzelfragen interessierten Leser geben. Bei der Auswahl der Literaturstellen wurde zusammenfassenden Darstellungen der Vorzug gegeben, da diese - im Vergleich zu Originalarbeiten - dem Leser eine umfassendere und oft besser aufbereitete Information liefern. W. von Münch Inhalt 1. Einleitung . 1 Literatur . . 3 2. Physikalische Eigenschaften des Galliumarsenids |
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