Mikromechanik: Einführung in Technologie und Anwendungen
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| Format: | Electronic eBook |
| Language: | German |
| Published: |
Wiesbaden
Vieweg+Teubner Verlag
1991
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| Series: | Angewandte Physik
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| Online Access: | Volltext |
| Item Description: | Die Mikromechanik, die sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung von dreidimensionalen mechanischen Strukturen und Systemen mit Abmessungen im Mikrometerbereich befaßt, hat in den vergangenen Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen und steht an der Schwelle zur breiten industriellen Anwendung. Ihr Einsatz führt zu Qualitäts- und Leistungssteigerungen in vielen Bereichen der modernen Technik. An Stelle der konventionellen Fertigungsverfahren der Feinwerktechnik nutzt die Mikromechanik den Technologievorrat der Mikroelektronik, vor allem das Konzept der hochgenauen Strukturübertragung mittels lithographischer Verfahren und das Konzept der kostengünstigen Fertigung in Batch-Prozessen. Die Mikromechanik kann daher als konsequente Weiterentwicklung der Mikroelektronik auf nicht-elektronische Gebiete betrachtet werden. Die gemeinsame technologische Basis von Mikromechanik und Mikroelektronik bietet günstige Voraussetzungen für die Integration mechanischer, optischer und elektronischer Funktionen zu komplexen Mikrosystemen. Die zur Zeit rasch ansteigende Zahl von Publikationen zu diesem Thema zeigt die große Bedeutung, die dieser Entwicklung von Wissenschaft und Industrie beigemessen wird. Mikromechanische Bauelemente können durchaus in mittelständischen Betrieben entwickelt und gefertigt werden. Wichtig ist jedoch, daß diese Betriebe Ingenieure als Mitarbeiter finden, die einen breiten Überblick über die Möglichkeiten der Mikromechanik besitzen. Das vorliegende Buch möchte deshalb Studierenden, Anwendern in Forschung und Entwicklung sowie technisch interessierten Lesern eine Einführung in die technologischen Grundlagen und die Anwendungen der Mikromechanik geben. Es ist aus einer Vorlesung entstanden, die ich seit 1986 an der Universität Stuttgart für Studenten der Fakultät Konstruktions- und Fertigungstechnik halte |
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| ISBN: | 9783322921352 9783519030713 |
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