Verfahren zur mechanischen Erzeugung periodischer nanooptischer Strukturen mit monokristallinen Diamantwerkzeugen am Beispiel von Blazegittern:
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| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Stuttgart
Fraunhofer Verlag
2015
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| Series: | Berichte aus dem Produktionstechnischen Zentrum Berlin
|
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|---|---|
| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
0 FORMELZEICHEN UND ABKUERZUNGEN IV
1 EINLEITUNG 1
2 STAND DER TECHNIK 2
2.1 GITTERTHEORIE 2
2.1.1 THEORIE ZU BEUGUNGSGITTERN 2
2.1.2 THEORIE ZU REFLEKTIVEN BLAZEGITTEM 5
2.1.3 GEISTER, STREULICHT UND ANDERE ANOMALIEN 7
2.2 GITTERHERSTELLUNG MITTELS RITZEN 11
2.2.1 RITZVERFAHREN 11
2.2.2 HISTORISCHE VERFAHRENSENTWICKLUNG UND BEKANNTE
GITTERTEILMASCHINEN.
15
2.3 PRAEGEVERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG OPTISCHER OBERFLAECHEN 19
2.4 ZERSPANENDE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROMETEROPTIKEN 21
2.5 MONOKRISTALLINE DIAMANTWERKZEUGE UND DEREN
VERSCHLEISS 23
3 ZIELSTELLUNG UND VORGEHEN 26
4 MASCHINEN- UND UMGEBUNGSBEDINGUNGEN 30
4.1 VERWENDETE MASCHINENKONFIGURATION 30
4.2 DEFINITION VON MASCHINEN UND UMGEBUNGSANFORDERUNGEN 33
4.3 ERFASSEN DER UMGEBUNGSBEDINGUNGEN 37
4.4 MASSNAHMEN ZUR VERBESSERUNG DER FERTIGUNGSBEDINGUNGEN 42
4.4.1 MASSNAHMEN ZUR VIBRATIONSMINDERUNG 42
4.4.2 TEMPERATURMESSUNGEN UND TEMPERIERUNGSSYSTEME 43
4.4.3 MASSNAHMEN ZUR VERBESSERUNG DER POSITIONSGENAUIGKEIT 45
4.5 BEWERTUNG UND DISKUSSION DER MASSNAHMEN 49
4.5.1 MASCHINENVIBRATIONEN 49
4.5.2 LANGZEITTEMPERATURMESSUNGEN 51
4.5.3 KONTROLLMESSUNG DER GLASMASSSTABSKORREKTUR 51
4.5.4 ZUSAMMENFASSUNG DER MASSNAHMEN 53
5 DEFINITION VON WERKZEUGEN UND WERKSTQCKWERKSTOFFEN ZUR
GITTERHERSTELLUNG 55
5.1 WERKZEUGE ZUR GITTERHERSTELLUNG 55
5.1.1 WERKZEUGE ZUM RITZEN VON GITTERN 55
5.1.2 WERKZEUGE ZUM PRAEGEN VON GITTERN 59
5.1.3 WERKZEUGE ZUM HOBELN VON GITTERN 60
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INHALTSVERZEICHNIS
5.2 WERKSTUECKWERKSTOFFE UND TRENNMITTEL FUER DIE GITTERFERTIGUNG 62
6 AUFBAUTEN ZUR FERTIGUNG UND KRAFTMESSUNG 69
6.1 ENTWICKELTE METHODEN ZUR EINHALTUNG REPRODUZIERBARER
PROZESSPARAMETER 69
6.1.1 IDENTIFIKATION DER PROZESSPARAMETER 69
6.1.2 EINHALTUNG REPRODUZIERBARER PROZESSPARAMETER BEIM RITZEN 72
6.1.3 EINHALTUNG REPRODUZIERBARER PROZESSPARAMETER BEIM PRAEGEN 74
6.1.4 EINHALTUNG REPRODUZIERBARER PROZESSPARAMETER BEIM HOBELN 76
6.2 FERTIGUNGS- UND KRAFTMESSAUFBAUTEN 77
6.2.1 VERSUCHSAUFBAUTEN BEIM
RITZEN 77
6.2.2 VERSUCHSAUFBAUTEN BEIM PRAEGEN 79
6.2.3 VERSUCHSAUFBAUTEN BEIM HOBELN 86
7 EINFLUSS DER PROZESSPARAMETER AUF DIE
KENNGROESSEN 89
7.1 IDENTIFIKATION DER IDEALEN PROZESSPARAMETER
BEIM RITZEN 89
7.1.1 GRUNDLEGENDE PROZESSPARAMETER BEIM RITZEN 89
7.1.2 IDEALE WINKELEINSTELLUNGEN BEIM RITZEN 90
7.1.3 IDEAL EINGESTELLTE MASSE
BEIM RITZEN 93
7.1.4 NEUEINRICHTUNG, MODELLBILDUNG UND ZEITABSCHAETZUNGEN BEIM
RITZEN....
96
7.2 KRAEFTE BEIM RITZEN 98
7.2.1 VERTIKALE KRAFTVERLAEUFE BEIM RITZEN 101
7.2.2 HORIZONTALE KRAFTVERIAEUFE BEIM RITZEN 103
7.2.3 ZUSAMMENFASSUNG DER KRAFTVERLAEUFE BEIM
RITZEN 104
7.3 IDENTIFIKATION DER IDEALEN PROZESSPARAMETER UND DIE KRAFTBESTIMMUNG
BEIM
PRAEGEN 106
7.3.1 IDEALE PROZESSPARAMETER BEIM
PRAEGEN 106
7.3.2 KRAFTBESTIMMUNG BEIM PRAEGEN 111
7.4 IDENTIFIKATION DER IDEALEN PROZESSPARAMETER BEIM HOBELN 111
7.4.1 VORSCHUBRICHTUNG UND GESCHWINDIGKEIT BEIM HOBELN 113
7.4.2 ZUSTELLUNG UND MEHRSCHNITTTECHNIK BEIM
HOBELN 115
7.4.3 AUFBAUTEN BEIM HOBELN UND
TRENNMITTELEINFLUSS 119
7.4.4 MATERIALIEN UND STREULICHT BEI
GEHOBELTEN GITTERN 121
7.5 KRAEFTE BEIM HOBELN IN VERSCHIEDENEN WERKSTUECKWERKSTOFFEN 122
7.5.1 REGRESSIONSANALYSE DER MATHEMATISCHEN HOBELKRAFTMODELLE 124
7.5.2 KRAFTVERIAEUFE BEIM HOBELN IN GOLD 125
II
INHALTSVERZEICHNIS
7.5.3 KRAFTVERLAEUFE BEIM HOBELN
IN ALUMINIUM 129
7.5.4 KRAFTVERLAEUFE BEIM HOBELN
IN KUPFER 133
8 VERGLEICH DER FERTIGUNGSVERFAHREN 136
8.1 ENERGIEBETRACHTUNGEN 136
8.2 QUALITATIVER VERGLEICH UND FERTIGUNGSEMPFEHLUNGEN 144
9 ZUSAMMENFASSUNG !...149
10 LITERATUR 152
III
|
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