Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Electronic eBook |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1998
|
| Series: | IPA-IAO — Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart
268 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Volltext |
| Item Description: | Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb (IFF) und am Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IP A), Stuttgart. Zum Dank für den Rückhalt während des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Familie. Für ihre Unterstützung und ihr Verständnis danke ich ganz besonders meiner Frau Nicola. Mein Dank gilt Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. E. Westkämper für die großzügige Unterstützung und Förderung meiner Arbeit sowie Herrn Prof. Dr. rer. nat. R. Gadow für die Übernahme des Koreferates und die konstruktive Durchsicht der Arbeit. Darüber hinaus danke ich allen Mitarbeitern des Instituts, die mich in zahlreichen Diskussionen mit Anregungen und Kritik sowie durch ihre Mitarbeit unterstützt haben. Mein besonderer Dank gilt den Herren Dr. K. Melchior, Dr. G. Kampschulte, Dipl.-Ing. (FH) T. Bolch, Dr.-Ing. D. Mann, Dipl.-Ing. P. Markschläger, Dipl.-Ing. T. Lux, Dipl.-Phys. M. Eckel, Dipl.-Ing. A. Scheibe und Dipl.-Ing. J. Stadlbauer. Des weiteren danke ich Herrn Dr.-Ing. W. Österle von der Bundesanstalt für Materialforschung und -Prüfung (BAM) in Berlin für die Durchführung der TEM- und SAD-Untersuchungen sowie Herrn Dipl.-Ing. D. Scherer vom Institut für Fertigungstechnologie keramischer Bauteile (IFKB) der Universität Stuttgart für die Durchführung der Rauheitsuntersuchungen. Ebenso danke ich Herrn Dipl.-Phys. R. Reiche vom Institut für Festkörperanalytik und Strukturforschung (IFS) des IFW Dresden für die Durchführung der WDX-Untersuchungen |
| Physical Description: | 1 Online-Ressource (147 S.) |
| ISBN: | 9783662066560 9783540645672 |
| DOI: | 10.1007/978-3-662-06656-0 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nmm a2200000zcb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV042435557 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20161212 | ||
| 007 | cr|uuu---uuuuu | ||
| 008 | 150320s1998 |||| o||u| ||||||ger d | ||
| 020 | |a 9783662066560 |c Online |9 978-3-662-06656-0 | ||
| 020 | |a 9783540645672 |c Print |9 978-3-540-64567-2 | ||
| 024 | 7 | |a 10.1007/978-3-662-06656-0 |2 doi | |
| 035 | |a (OCoLC)864083102 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV042435557 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e aacr | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-634 |a DE-92 |a DE-573 |a DE-706 |a DE-860 |a DE-1046 |a DE-Aug4 | ||
| 082 | 0 | |a 670 |2 23 | |
| 084 | |a TEC 000 |2 stub | ||
| 084 | |a DAT 000 |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Morlok, Oliver |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf |c von Oliver Morlok |
| 264 | 1 | |a Berlin, Heidelberg |b Springer Berlin Heidelberg |c 1998 | |
| 300 | |a 1 Online-Ressource (147 S.) | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b c |2 rdamedia | ||
| 338 | |b cr |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a IPA-IAO — Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart |v 268 | |
| 500 | |a Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb (IFF) und am Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IP A), Stuttgart. Zum Dank für den Rückhalt während des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Familie. Für ihre Unterstützung und ihr Verständnis danke ich ganz besonders meiner Frau Nicola. Mein Dank gilt Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. E. Westkämper für die großzügige Unterstützung und Förderung meiner Arbeit sowie Herrn Prof. Dr. rer. nat. R. Gadow für die Übernahme des Koreferates und die konstruktive Durchsicht der Arbeit. Darüber hinaus danke ich allen Mitarbeitern des Instituts, die mich in zahlreichen Diskussionen mit Anregungen und Kritik sowie durch ihre Mitarbeit unterstützt haben. Mein besonderer Dank gilt den Herren Dr. K. Melchior, Dr. G. Kampschulte, Dipl.-Ing. (FH) T. Bolch, Dr.-Ing. D. Mann, Dipl.-Ing. P. Markschläger, Dipl.-Ing. T. Lux, Dipl.-Phys. M. Eckel, Dipl.-Ing. A. Scheibe und Dipl.-Ing. J. Stadlbauer. Des weiteren danke ich Herrn Dr.-Ing. W. Österle von der Bundesanstalt für Materialforschung und -Prüfung (BAM) in Berlin für die Durchführung der TEM- und SAD-Untersuchungen sowie Herrn Dipl.-Ing. D. Scherer vom Institut für Fertigungstechnologie keramischer Bauteile (IFKB) der Universität Stuttgart für die Durchführung der Rauheitsuntersuchungen. Ebenso danke ich Herrn Dipl.-Phys. R. Reiche vom Institut für Festkörperanalytik und Strukturforschung (IFS) des IFW Dresden für die Durchführung der WDX-Untersuchungen | ||
| 650 | 4 | |a Engineering | |
| 650 | 4 | |a Industrial engineering | |
| 650 | 4 | |a Industrial and Production Engineering | |
| 650 | 4 | |a Ingenieurwissenschaften | |
| 650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionitrieren |0 (DE-588)4202775-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |8 1\p |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Ionitrieren |0 (DE-588)4202775-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 0 | |8 2\p |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a IPA-IAO — Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart |v 268 |w (DE-604)BV000852131 |9 268 | |
| 856 | 4 | 0 | |u https://doi.org/10.1007/978-3-662-06656-0 |x Verlag |3 Volltext |
| 912 | |a ZDB-2-STI |a ZDB-2-BAD | ||
| 940 | 1 | |q ZDB-2-STI_Archive | |
| 940 | 1 | |q ZDB-2-STI_1990/1999 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027870887 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1804153122927411200 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Morlok, Oliver |
| author_facet | Morlok, Oliver |
| author_role | aut |
| author_sort | Morlok, Oliver |
| author_variant | o m om |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV042435557 |
| classification_tum | TEC 000 DAT 000 |
| collection | ZDB-2-STI ZDB-2-BAD |
| ctrlnum | (OCoLC)864083102 (DE-599)BVBBV042435557 |
| dewey-full | 670 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 670 - Manufacturing |
| dewey-raw | 670 |
| dewey-search | 670 |
| dewey-sort | 3670 |
| dewey-tens | 670 - Manufacturing |
| discipline | Technik Technik Informatik Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| doi_str_mv | 10.1007/978-3-662-06656-0 |
| format | Electronic eBook |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>04419nmm a2200541zcb4500</leader><controlfield tag="001">BV042435557</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20161212 </controlfield><controlfield tag="007">cr|uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">150320s1998 |||| o||u| ||||||ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783662066560</subfield><subfield code="c">Online</subfield><subfield code="9">978-3-662-06656-0</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783540645672</subfield><subfield code="c">Print</subfield><subfield code="9">978-3-540-64567-2</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">10.1007/978-3-662-06656-0</subfield><subfield code="2">doi</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)864083102</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV042435557</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">aacr</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-573</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-860</subfield><subfield code="a">DE-1046</subfield><subfield code="a">DE-Aug4</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">670</subfield><subfield code="2">23</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">TEC 000</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DAT 000</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Morlok, Oliver</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf</subfield><subfield code="c">von Oliver Morlok</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin, Heidelberg</subfield><subfield code="b">Springer Berlin Heidelberg</subfield><subfield code="c">1998</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource (147 S.)</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">IPA-IAO — Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart</subfield><subfield code="v">268</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb (IFF) und am Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IP A), Stuttgart. Zum Dank für den Rückhalt während des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Familie. Für ihre Unterstützung und ihr Verständnis danke ich ganz besonders meiner Frau Nicola. Mein Dank gilt Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. E. Westkämper für die großzügige Unterstützung und Förderung meiner Arbeit sowie Herrn Prof. Dr. rer. nat. R. Gadow für die Übernahme des Koreferates und die konstruktive Durchsicht der Arbeit. Darüber hinaus danke ich allen Mitarbeitern des Instituts, die mich in zahlreichen Diskussionen mit Anregungen und Kritik sowie durch ihre Mitarbeit unterstützt haben. Mein besonderer Dank gilt den Herren Dr. K. Melchior, Dr. G. Kampschulte, Dipl.-Ing. (FH) T. Bolch, Dr.-Ing. D. Mann, Dipl.-Ing. P. Markschläger, Dipl.-Ing. T. Lux, Dipl.-Phys. M. Eckel, Dipl.-Ing. A. Scheibe und Dipl.-Ing. J. Stadlbauer. Des weiteren danke ich Herrn Dr.-Ing. W. Österle von der Bundesanstalt für Materialforschung und -Prüfung (BAM) in Berlin für die Durchführung der TEM- und SAD-Untersuchungen sowie Herrn Dipl.-Ing. D. Scherer vom Institut für Fertigungstechnologie keramischer Bauteile (IFKB) der Universität Stuttgart für die Durchführung der Rauheitsuntersuchungen. Ebenso danke ich Herrn Dipl.-Phys. R. Reiche vom Institut für Festkörperanalytik und Strukturforschung (IFS) des IFW Dresden für die Durchführung der WDX-Untersuchungen</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Engineering</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Industrial engineering</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Industrial and Production Engineering</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Ingenieurwissenschaften</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionitrieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4202775-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Ionitrieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4202775-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">IPA-IAO — Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart</subfield><subfield code="v">268</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000852131</subfield><subfield code="9">268</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-662-06656-0</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="a">ZDB-2-BAD</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">ZDB-2-STI_Archive</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">ZDB-2-STI_1990/1999</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027870887</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | 1\p (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV042435557 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T01:21:36Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783662066560 9783540645672 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027870887 |
| oclc_num | 864083102 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-92 DE-573 DE-706 DE-860 DE-1046 DE-Aug4 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-92 DE-573 DE-706 DE-860 DE-1046 DE-Aug4 |
| physical | 1 Online-Ressource (147 S.) |
| psigel | ZDB-2-STI ZDB-2-BAD ZDB-2-STI_Archive ZDB-2-STI_1990/1999 |
| publishDate | 1998 |
| publishDateSearch | 1998 |
| publishDateSort | 1998 |
| publisher | Springer Berlin Heidelberg |
| record_format | marc |
| series | IPA-IAO — Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart |
| series2 | IPA-IAO — Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart |
| spelling | Morlok, Oliver Verfasser aut Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf von Oliver Morlok Berlin, Heidelberg Springer Berlin Heidelberg 1998 1 Online-Ressource (147 S.) txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier IPA-IAO — Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart 268 Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb (IFF) und am Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IP A), Stuttgart. Zum Dank für den Rückhalt während des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Familie. Für ihre Unterstützung und ihr Verständnis danke ich ganz besonders meiner Frau Nicola. Mein Dank gilt Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. E. Westkämper für die großzügige Unterstützung und Förderung meiner Arbeit sowie Herrn Prof. Dr. rer. nat. R. Gadow für die Übernahme des Koreferates und die konstruktive Durchsicht der Arbeit. Darüber hinaus danke ich allen Mitarbeitern des Instituts, die mich in zahlreichen Diskussionen mit Anregungen und Kritik sowie durch ihre Mitarbeit unterstützt haben. Mein besonderer Dank gilt den Herren Dr. K. Melchior, Dr. G. Kampschulte, Dipl.-Ing. (FH) T. Bolch, Dr.-Ing. D. Mann, Dipl.-Ing. P. Markschläger, Dipl.-Ing. T. Lux, Dipl.-Phys. M. Eckel, Dipl.-Ing. A. Scheibe und Dipl.-Ing. J. Stadlbauer. Des weiteren danke ich Herrn Dr.-Ing. W. Österle von der Bundesanstalt für Materialforschung und -Prüfung (BAM) in Berlin für die Durchführung der TEM- und SAD-Untersuchungen sowie Herrn Dipl.-Ing. D. Scherer vom Institut für Fertigungstechnologie keramischer Bauteile (IFKB) der Universität Stuttgart für die Durchführung der Rauheitsuntersuchungen. Ebenso danke ich Herrn Dipl.-Phys. R. Reiche vom Institut für Festkörperanalytik und Strukturforschung (IFS) des IFW Dresden für die Durchführung der WDX-Untersuchungen Engineering Industrial engineering Industrial and Production Engineering Ingenieurwissenschaften PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf Ionitrieren (DE-588)4202775-5 gnd rswk-swf 1\p (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Ionitrieren (DE-588)4202775-5 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s 2\p DE-604 IPA-IAO — Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart 268 (DE-604)BV000852131 268 https://doi.org/10.1007/978-3-662-06656-0 Verlag Volltext 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Morlok, Oliver Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf IPA-IAO — Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart Engineering Industrial engineering Industrial and Production Engineering Ingenieurwissenschaften PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Ionitrieren (DE-588)4202775-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4267316-1 (DE-588)4202775-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf |
| title_auth | Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf |
| title_exact_search | Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf |
| title_full | Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf von Oliver Morlok |
| title_fullStr | Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf von Oliver Morlok |
| title_full_unstemmed | Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf von Oliver Morlok |
| title_short | Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf |
| title_sort | die kombination von plasmanitrierung und plasmagestutzter schichtabscheidung aus der gasphase pacvd in einem verfahrensablauf |
| topic | Engineering Industrial engineering Industrial and Production Engineering Ingenieurwissenschaften PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Ionitrieren (DE-588)4202775-5 gnd |
| topic_facet | Engineering Industrial engineering Industrial and Production Engineering Ingenieurwissenschaften PECVD-Verfahren Ionitrieren Hochschulschrift |
| url | https://doi.org/10.1007/978-3-662-06656-0 |
| volume_link | (DE-604)BV000852131 |
| work_keys_str_mv | AT morlokoliver diekombinationvonplasmanitrierungundplasmagestutzterschichtabscheidungausdergasphasepacvdineinemverfahrensablauf |