Ruge, I. (1984). Halbleiter-Technologie (Zweite, überarbeitete und erweiterte Auflage.). Springer Berlin Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-96782-5
Chicago Style (17th ed.) CitationRuge, Ingolf. Halbleiter-Technologie. Zweite, überarbeitete und erweiterte Auflage. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 1984. https://doi.org/10.1007/978-3-642-96782-5.
MLA (9th ed.) CitationRuge, Ingolf. Halbleiter-Technologie. Zweite, überarbeitete und erweiterte Auflage. Springer Berlin Heidelberg, 1984. https://doi.org/10.1007/978-3-642-96782-5.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.