Ruge, I. (1984). Halbleiter-Technologie (Zweite, überarbeitete und erweiterte Auflage.). Springer Berlin Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-96782-5
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ruge, Ingolf. Halbleiter-Technologie. Zweite, überarbeitete und erweiterte Auflage. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 1984. https://doi.org/10.1007/978-3-642-96782-5.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ruge, Ingolf. Halbleiter-Technologie. Zweite, überarbeitete und erweiterte Auflage. Springer Berlin Heidelberg, 1984. https://doi.org/10.1007/978-3-642-96782-5.
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