Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben - Herzog, Olaf (Springer Berlin Heidelberg, 1997)
Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Zum Dank für den Rückhalt während des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau und meinen Kindern. Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. E. Westkaemper und Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. mult. H.-J. Warnecke danke ich für die wohlwollende Unterstützung und Förderung meiner Arbeit. Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Prof. Dr. rer. nat. B. Hofflinger für die Durchsicht der Arbeit und die Übernahme des Mitberichts. Ich danke allen Kolleginnen und Kollegen für die Unterstützung und konstruktive Kritik während der Entstehung meiner Arbeit. Mein Dank gilt dabei insbesondere Herro Dr.-Ing. Bernhard Klumpp, Herrn Dr.-Ing. M. Schweizer und Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. R. D. Schraft. Einen besonderen Dank möchte ich Herrn Dipl.-Ing. W. Schafer und Herrn Dipl.-Ing. J. Schließer vom IPA sowie Herrn Dipl.-Ing. P. Staudt-Fischbach von der TEMIC Semiconductor Itzehoe GmbH für die ausdauernde Diskussionsbereitschaft während der Entstehung dieses Werkes aussprechen