Herzog, O. (1997). Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben. Springer Berlin Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47908-3
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Herzog, Olaf. Fertigung Von Mischlosen in Der Mikroelektronik Auf Der Basis Eines Verfahrens Zur Verfolgung Von Einzelscheiben. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 1997. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47908-3.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Herzog, Olaf. Fertigung Von Mischlosen in Der Mikroelektronik Auf Der Basis Eines Verfahrens Zur Verfolgung Von Einzelscheiben. Springer Berlin Heidelberg, 1997. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47908-3.
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