Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten:
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| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1999
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| Schriftenreihe: | IPA-IAO Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart
281 |
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| Online-Zugang: | Volltext |
| Beschreibung: | Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Als Dankeschön für den großen Rückhalt während des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau Helen, meinen Kinder Sammy und Kim sowie meinen Eltern. Herrn Professor Dr.-Ing. Dr. h.c. E. Westkamper danke ich für die wohlwollende Unterstützung und Förderung meiner Arbeit. Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Herrn Professor Dr. rer. nat. B. Höfflinger für die Durchsicht und Übernahme des Mitberichts. Für die Unterstützung und konstruktive Diskussionen danke ich allen Kolleginnen und Kollegen. Hierbei gilt der Dank insbesondere Herrn Dr.-Ing. B. Klumpp, Herrn Dr.-Ing. M. Schweizer und Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. mult. R.D. Schraft. Ferner danke ich den Herren Dipl.-Ing. S. Mayer und cand. mach. D. Limperich für die intensiven Fachgespräche, Kritik und Unterstützung. Einen besonderen Dank möchte ich auch den Herren Dr.-Ing. R. Kaun und Dipl.-Phys. U. Gommel für ihre ausdauernde Diskussionsbereitschaft während der Entstehung dieses Werkes aussprechen |
| Beschreibung: | 1 Online-Ressource (123S. 64 Abb) |
| ISBN: | 9783642468827 9783540655602 |
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