APA (7th ed.) Citation

Hilleringmann, U. (1999). Silizium-Halbleitertechnologie (2., überarbeitete und erweiterte Auflage.). Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94053-7

Chicago Style (17th ed.) Citation

Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. 2., überarbeitete und erweiterte Auflage. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 1999. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94053-7.

MLA (9th ed.) Citation

Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. 2., überarbeitete und erweiterte Auflage. Vieweg+Teubner Verlag, 1999. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94053-7.