Hilleringmann, U. (1999). Silizium-Halbleitertechnologie (2., überarbeitete und erweiterte Auflage.). Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94053-7
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. 2., überarbeitete und erweiterte Auflage. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 1999. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94053-7.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. 2., überarbeitete und erweiterte Auflage. Vieweg+Teubner Verlag, 1999. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94053-7.
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