APA (7th ed.) Citation

Hilleringmann, U. (1995). Mikrosystemtechnik auf Silizium. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8

Chicago Style (17th ed.) Citation

Hilleringmann, Ulrich. Mikrosystemtechnik Auf Silizium. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 1995. https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8.

MLA (9th ed.) Citation

Hilleringmann, Ulrich. Mikrosystemtechnik Auf Silizium. Vieweg+Teubner Verlag, 1995. https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8.