Hilleringmann, U. (1995). Mikrosystemtechnik auf Silizium. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Mikrosystemtechnik Auf Silizium. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 1995. https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Mikrosystemtechnik Auf Silizium. Vieweg+Teubner Verlag, 1995. https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8.
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