Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Volltext Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zsfassung in dt. und engl. Sprache. - Online erschienen: 2015 |
| Physical Description: | V, 212 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV042392376 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20150725 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 150305s2014 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)904458999 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV042392376 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-384 |a DE-473 |a DE-703 |a DE-1051 |a DE-824 |a DE-29 |a DE-12 |a DE-91 |a DE-19 |a DE-1049 |a DE-92 |a DE-739 |a DE-898 |a DE-355 |a DE-706 |a DE-20 |a DE-1102 | ||
| 084 | |a VN 5070 |0 (DE-625)147559: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Collin, Daniela |e Verfasser |0 (DE-588)1068019751 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten |c von Daniela Collin, geb. Trötschel |
| 246 | 1 | 3 | |a Investigations concerning photopatternable piezo- and ferroelectrical thin-films |
| 264 | 1 | |c 2014 | |
| 300 | |a V, 212 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Zsfassung in dt. und engl. Sprache. - Online erschienen: 2015 | ||
| 502 | |a Würzburg, Univ., Diss., 2014 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sol-Gel-Verfahren |0 (DE-588)4278915-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a PZT |0 (DE-588)4329808-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ultraviolett-Bestrahlung |0 (DE-588)4243843-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a PZT |0 (DE-588)4329808-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Sol-Gel-Verfahren |0 (DE-588)4278915-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Ultraviolett-Bestrahlung |0 (DE-588)4243843-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 776 | 0 | 8 | |i Erscheint auch als |n Online-Ausgabe |o urn:nbn:de:bvb:20-opus-108422 |
| 856 | 4 | 1 | |u https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:20-opus-108422 |x Resolving-System |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027828238&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 912 | |a ebook | ||
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027828238 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804153042230050816 |
|---|---|
| adam_text | UNTERSUCHUNGEN ZU
PH OTOSTR
U KTU
R IER
BA REN
PIEZO- UND FERROELEKTRISCHEN
DUENNSCHICHTEN
DISSERTATION ZUR ERLANGUNG DES
NATURWISSENSCHAFTLICHEN DOKTORGRADES
DER JULIUS-MAXIMILIANS-UNIVERSITAET WUERZBURG
VORGELEGT VON
DANIELA COLLIN
GEB. TROETSCHEL
AUS JENA
WURZBURG, MAI 2014
HTTP://D-NB.INFO/1068607815
INHALTSVERZEICHNIS I
INHALTSVERZEICHNIS
1. EINLEITUNG 1
2. GRUNDLAGEN 5
2.1 PIEZO- UND FERROELEKTRISCHE MATERIALIEN 5
2.1.1 PIEZOELEKTRISCHER EFFEKT 5
2.1.2 PIEZO- UND FERROELEKTRISCHE MATERIALIEN 6
2.1.3 ANWENDUNGEN FERROELEKTRISCHER MATERIALIEN 8
2.2 BLEIZIRKONATTITANAT-SCHICHTEN 9
2.2.1 SOL-GEL-BASIERTE SYNTHESE VON BLEIZIRKONATTITANAT 9
2.2.2 PYROLYSE VON SOL-GEL-BASIERTEN BLEIZIRKONATTITANAT-SOLSCHICHTEN 11
2.2.3 EINFLUSS VON SOLSYNTHESE UND PYROLYSE AUF MIKROSTRUKTUR UND
PHASEN-ZUSAMMENSETZUNG 13
2.2.4 EINFLUSS DES BLEIGEHALTS AUF DIE BLEIZIRKONATTITANAT-DUENNSCHICHT
14
2.3 TITAN(IV)- UND ZIRKONIUM(IV)BASIERTE EDUKTE 15
2.3.1 TITAN(IV)- UND ZIRKONIUM(LV)ALKOXIDE 15
2.3.2 CARBONSAEUREN ALS STABILISIERENDE LIGANDEN IM PZT-SOL 16
2.3.3 LIGANDENAUSTAUSCH UND NEBENREAKTIONEN 18
2.3.5 STABILITAET UND PARTIKELGROESSE 20
2.4 RADIKALISCHE PHOTOPOLYMERISATION 22
2.4.1 INITIATION 22
2.4.2 KETTENPOLYMERISATION 23
2.4.3 SAUERSTOFFINHIBIERUNG 25
2.4.4 EINFLUSS DER TEMPERATUR 26
2.4.5 POLYMERISATION VON METHACRYLATFUNKTIONALISIERTEN METALLALKOXIDEN
IN HYBRIDMATERIALIEN 27
2.5 UV-LITHOGRAPHISCHE STRUKTURIERUNGSPROZESSE UND
ZWEIPHOTONENABSORPTION 29
2.5.1 LITHOGRAPHISCHE STRUKTURIERUNGSPROZESSE 29
2.5.2 ZWEIPHOTONENPOLYMERISATION 32
3. EXPERIMENTELLES 35
3.1 VERWENDETE CHEMIKALIEN 35
3.2 SYNTHESEN 35
3.2.1 SYNTHESE DER METHACRYLATFUNKTIONALISIERTEN
BLEIZIRKONATTITANAT-SOLE 35
3.2.2 BESTIMMUNG DES FESTSTOFFGEHALTS DER SOLE 37
3.2.4 UV-LITHOGRAPHISCHE HERSTELLUNG STRUKTURIERTER
BLEIZIRKONATTITANAT-SOLSCHICHTEN 38
3.2.4 PYROLYSE DER STRUKTURIERTEN SCHICHTEN 40
3.3 METHODEN 41
3.3.1 FT-IR-SPEKTROSKOPIE 41
3.3.2 KERNRESONANZSSPEKTROSKOPIE 41
3.3.3 PHOTO-DIFFERENTIALKALORIMETRIE 41
II
INHALTSVERZEICHNIS
3.3.4 PHOTONENKORRELATIONSSPEKTROSKOPIE 42
3.3.5 ^-RAMANSPEKTROSKOPIE 42
3.3.6 RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE UND ENERGIEDISPERSIVE
ROENTGENSPEKTROSKOPIE 43
3.3.7 IN-SITU-ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE MIT SYNCHROTRONSTRAHLUNG 43
3.3.8 ROENTGENBEUGUNG UNTER STREIFENDEM EINFALL 45
3.3.9 SCHICHTDICKENBESTIMMUNG 45
3.3.10 THERMOGRAVIMETRISCH-DIFFERENTIALKALORIMETRISCHE UNTERSUCHUNGEN 45
3.3.11 UV-VIS-SPEKTROSKOPIE 45
3.3.12 CHARAKTERISIERUNG DER FERROELEKTRISCHEN EIGENSCHAFTEN 46
3.3.13 LICHTMIKROSKOPIE 46
4. ERGEBNISSE UND DISKUSSION 47
4.1 HERSTELLUNG PHOTOSTRUKTURIERTER, ANORGANISCHER DUENNSCHICHTEN 47
4.1.1 BLEIZIRKONATTITANAT-SOLSYNTHESE 47
4.1.1.1 METHACRYLATFUNKTIONALISIERTE TITAN(IV)- BZW.
ZIRKONIUM(IV)ALKOXIDE 49
4.1.1.2 NEBENPRODUKTBILDUNGEN WAEHREND DER SOLSYNTHESE 52
4.1.1.3 PARTIKELGROESSEN IM METHACRYLATFUNKTIONALISIERTEN SOL 62
4.1.2 UV-LITHOGRAPHISCHE STRUKTURIERUNG 70
4.1.2.1 EINFLUSS DES PREBAKE-SCHRITTES AUF DIE SOLSCHICHT 73
4.1.2.2 EINFLUSS EINER N
2
-ATMOSPHAERE WAEHREND DER BELICHTUNG AUF DIE SOLSCHICHT 81
4.1.3 PYROLYSE DER PHOTOSTRUKTURIERTEN BLEIZIRKONATTITANAT-SOLSCHICHTEN
87
4.1.3.1 EINFLUSS DES SUBSTRATS AUF DIE PHASENENTWICKLUNG 87
4.1.3.2 EINFLUSS DER PYROLYSEBEDINGUNGEN AUF DIE ANORGANISCHEN,
PHOTOSTRUKTURIERTEN SCHICHTEN 96
4.1.3.3 FERROELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN 109
4.2 PHOTOCHEMISCHE REAKTION DER METHACRYLATFUNKTIONALISIERTEN SOLE 118
4.2.1 ZEITABHAENGIGE UNTERSUCHUNG DER LICHTINDUZIERTEN
POLYMERISATIONSREAKTION 118
4.2.3 EINFLUESSE AUF DIE POLYMERISATIONSREAKTION DER
METHACRYLATFUNKTIONALISIERTEN SOLE 129
4.2.3.1 EINFLUSS DES PHOTOINITIATORGEHALTS 130
4.2.3.2 EINFLUSS DER REAKTIONSTEMPERATUR 138
4.2.3.3 EINFLUSS REAKTIVER MONOMERE 147
4.2.3.4 DUNKELREAKTION 154
4.2.3.5 AUTOKATALYSE 161
4.3 IN-SITU-ROENTGENBEUGUNG BEI THERMISCHER BEHANDLUNG 173
5. ZUSAMMENFASSUNG 191
6. SUMMARYIN ENGLISH 195
7. LITERATUR 199
8. PUBLIKATIONEN 209
DANKSAGUNG 210
ERKLAERUNG 212
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Collin, Daniela |
| author_GND | (DE-588)1068019751 |
| author_facet | Collin, Daniela |
| author_role | aut |
| author_sort | Collin, Daniela |
| author_variant | d c dc |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV042392376 |
| classification_rvk | VN 5070 |
| collection | ebook |
| ctrlnum | (OCoLC)904458999 (DE-599)BVBBV042392376 |
| discipline | Chemie / Pharmazie |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02149nam a2200457 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV042392376</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20150725 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">150305s2014 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)904458999</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV042392376</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-384</subfield><subfield code="a">DE-473</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-1051</subfield><subfield code="a">DE-824</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-1049</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-739</subfield><subfield code="a">DE-898</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-20</subfield><subfield code="a">DE-1102</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VN 5070</subfield><subfield code="0">(DE-625)147559:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Collin, Daniela</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1068019751</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten</subfield><subfield code="c">von Daniela Collin, geb. Trötschel</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Investigations concerning photopatternable piezo- and ferroelectrical thin-films</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2014</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">V, 212 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zsfassung in dt. und engl. Sprache. - Online erschienen: 2015</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Würzburg, Univ., Diss., 2014</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sol-Gel-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4278915-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PZT</subfield><subfield code="0">(DE-588)4329808-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ultraviolett-Bestrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4243843-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">PZT</subfield><subfield code="0">(DE-588)4329808-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Sol-Gel-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4278915-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Ultraviolett-Bestrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4243843-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Online-Ausgabe</subfield><subfield code="o">urn:nbn:de:bvb:20-opus-108422</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:20-opus-108422</subfield><subfield code="x">Resolving-System</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027828238&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ebook</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027828238</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV042392376 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T01:20:19Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027828238 |
| oclc_num | 904458999 |
| open_access_boolean | 1 |
| owner | DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-20 DE-1102 |
| owner_facet | DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-20 DE-1102 |
| physical | V, 212 S. Ill., graph. Darst. |
| psigel | ebook |
| publishDate | 2014 |
| publishDateSearch | 2014 |
| publishDateSort | 2014 |
| record_format | marc |
| spelling | Collin, Daniela Verfasser (DE-588)1068019751 aut Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten von Daniela Collin, geb. Trötschel Investigations concerning photopatternable piezo- and ferroelectrical thin-films 2014 V, 212 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Zsfassung in dt. und engl. Sprache. - Online erschienen: 2015 Würzburg, Univ., Diss., 2014 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Sol-Gel-Verfahren (DE-588)4278915-1 gnd rswk-swf PZT (DE-588)4329808-4 gnd rswk-swf Ultraviolett-Bestrahlung (DE-588)4243843-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s PZT (DE-588)4329808-4 s Sol-Gel-Verfahren (DE-588)4278915-1 s Ultraviolett-Bestrahlung (DE-588)4243843-3 s DE-604 Erscheint auch als Online-Ausgabe urn:nbn:de:bvb:20-opus-108422 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:20-opus-108422 Resolving-System kostenfrei Volltext DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027828238&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Collin, Daniela Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Sol-Gel-Verfahren (DE-588)4278915-1 gnd PZT (DE-588)4329808-4 gnd Ultraviolett-Bestrahlung (DE-588)4243843-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4136925-7 (DE-588)4278915-1 (DE-588)4329808-4 (DE-588)4243843-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten |
| title_alt | Investigations concerning photopatternable piezo- and ferroelectrical thin-films |
| title_auth | Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten |
| title_exact_search | Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten |
| title_full | Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten von Daniela Collin, geb. Trötschel |
| title_fullStr | Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten von Daniela Collin, geb. Trötschel |
| title_full_unstemmed | Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten von Daniela Collin, geb. Trötschel |
| title_short | Untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo- und ferroelektrischen Dünnschichten |
| title_sort | untersuchungen zu photostrukturierbaren piezo und ferroelektrischen dunnschichten |
| topic | Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Sol-Gel-Verfahren (DE-588)4278915-1 gnd PZT (DE-588)4329808-4 gnd Ultraviolett-Bestrahlung (DE-588)4243843-3 gnd |
| topic_facet | Dünne Schicht Sol-Gel-Verfahren PZT Ultraviolett-Bestrahlung Hochschulschrift |
| url | https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:20-opus-108422 http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027828238&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT collindaniela untersuchungenzuphotostrukturierbarenpiezoundferroelektrischendunnschichten AT collindaniela investigationsconcerningphotopatternablepiezoandferroelectricalthinfilms |