Modellierung und Simulation eines plasma-ionengestützten Beschichtungsprozesses:
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| Published: |
[Göttingen]
Sierke
2014
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
2 PIE ADVANCED PLASMA SOURCE 3
3 ANALYTISCHES PLASMASTRAHLMODELL 9
3.1 SKALENANALYSE 9
3.2 MODELLGLEICHUNGEN 11
3.3 LOESUNGEN 20
4 KINETISCHE SIMULATION 27
4.1 NUMERISCHE ASPEKTE UND ALGORITHMEN 28
4.1.1 ERZEUGUNG VON TEILCHEN 28
4.1.2 LOESEN DER BEWEGUNGSGLEICHUNGEN 30
4.1.3 STOSSMODELL 31
4.1.4 NUMERISCHE DIAGNOSTIK 35
4.1.5 NUMERISCHE EFFIZIENZ 39
4.2 SIMULATIONSERGEBNISSE 39
4.2.1 VERGLEICH MIT EXPERIMENTELLEN DATEN 40
5 ELEKTRONENVERTEILUNGSFUNKTION UND RANDSCHICHTSPANNUNG 51
5.1 FORMEN DER VERTEILUNGSFUNKTION 51
5.2 KONZEPTE DER NICHTLOKALEN ELEKTRONENKINETIK 53
5.3 RANDSCHICHTSPANNUNG IM APS-PLASMA 55
6 KINETISCHE THEORIE UND ENTLADUNGSREGION 65
G.L MAGNETFELDBERECHNUNG 65
6.2 EIGENSCHAFTEN DES QUELLENPLASMAS 67
6.3 GYROKINCTISCHE KONZEPTE 71
6.3.1 EINFUEHRENDES BEISPIEL ZUR GYROKINCTIK TECHNISCHER PLASMEN IN KAR-
TESISCHEN KOORDINATEN 73
6.4 EIN GYROKINETISCHCS MODELL FUER DAS APS-PLASMA 81
6.4.1 PHYSIKALISCHE VORIIBCRLEGUNGEN 81
6.4.2 FLUSSKOORDINATEN FUER EIN AXIALSYMMETRISCHCS MAGNETFELD 84
III
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INHAL
TSVERZEICHNIS
G.4.3 HERLEITUNG DES GYROKINETISCHEN MODELLS 91
6.5 MODIFIKATIONEN DES GYROKINETISCHEN MODELLS FIIR COULOMB-STOESSE 104
6.5.1 ELEKTRON-ION-STOESSE 105
6.5.2 ELEKTRON-ELEKTRON-STOESSE 107
6.5.3 COULOMB-WECHSELWIRKUNG IM GYROKINETISCHEN MOD'ELL 109
6.6 ABSCHAETZUNG DER DIFFUSION SENKRECHT ZUM MAGNETFELD 115
7 ZUSAMMENFASSUNG 119
ANHANG 121
A WIRKUNGSQUERSCHNITTE 121
B SKALENABSCHAETZUNGEN 125
ABBILDUNGSVERZEICHNIS 128
TABELLENVERZEICHNIS 131
LITERATURVERZEICHNIS 135
CURRICULUM VITAE 141
IV |
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