Epitaktische Schichten der Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga für die Anwendung in Mikrosystemen:
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Dresden
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
2 DIE MAGNETISCHE FORMGEDAECHTNISLEGIERUNG I\LI-MN-GA 5
2.1 DER MAGNETISCHE FORMGEDAECHTNISEFFEKT 5
2.2 EIGENSCHAFTEN VON NI-MN-GA-MASSIVMATERIALIEN 6
2.2.1 KLASSIFIZIERUNG UND STRUKTUR DER AUFTRETENDEN PHASEN 6
2.2.2 MAGNETISCHE EIGENSCHAFTEN 10
2.2.3 PSEUDOELASTIZITAET UND PSEUDOPLASTIZITAET 10
2.3 BESONDERHEITEN DUENNER NI-MN-GA-SCHICHTEN 13
2.3.1 EPITAXIE UND SCHICHTWACHSTUM 13
2.3.2 MARTENSITISCHE UMWANDLUNG 15
2.3.3 ZWILLINGSHIERARCHIEN 15
2.3.4 MSM-EFFEKT IN DUENNEN SCHICHTEN 17
3 SCHICHTHERSTELLUNG UND CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN 19
3.1 DUENNSCHICHTPRAEPARATION MITTELS KATHODENZERSTAEUBUNG 19
3.2 OBERFIAECHENBESCHAFFENHEIT UND ZUSAMMENSETZUNG 21
3.3 STRUKTURUNTERSUCHUNGEN 23
3.4 MAGNETISCHE CHARAKTERISIERUNG 24
4 ZWILLINGSGRENZENORIENTIERUNGEN IN NI-MN-GA-SCHICHTEN 25
4.1 IDENTIFIZIERUNG ANHAND DER MORPHOLOGIE 25
4.2 STRUKTURANALYSE 28
4.3 MAGNETISCHE EIGENSCHAFTEN 35
4.4 MOEGLICHE URSACHEN FUER ZWILLINGSGRENZENORIENTIERUNG 37
4.5 BETRACHTUNGEN ZUR BEWEGUNG DER VERSCHIEDENEN ZWILLINGSGRENZENTYPEN
. 40
4.5.1 AUSSCHLIESSLICH TYP X-ZWILLINGSGRENZEN 41
4.5.2 AUSSCHLIESSLICH TYP Y-ZWILLINGSGRENZEN 46
4.5.3 KOMPOSIT BESTEHEND AUS TYP X- UND TYP Y-ZWILLINGSGRENZEN . 49
4.5.4 FAZIT 51
5 BESTIMMUNG DER ZWILLINGSGRENZENENERGIE DES MODULIERTEN 14M-MARTENSITS
53
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6 HERSTELLUNG UND CHARAKTERISIERUNG VON FREISTEHENDEN SCHICHTEN 57
6.1 METHODEN ZUM ABLOESEN VON SCHICHTEN 57
6.2 VERWENDUNG VON CHROM ALS OPFERSCHICHT 59
6.3 EINFLUSS DER CHROMAETZUNG AUF SCHICHTEIGENSCHAFTEN 62
6.4 ANSAETZE ZUR OPTIMIERUNG DER OPFERSCHICHT-METHODE 68
7 MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN UND TRAINING VON FREISTEHENDEN SCHICHTEN 71
7.1 MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN 71
7.1.1 PSEUDOPLASTIZITAET 72
7.1.2 ANISOTROPIE DER MECHANISCHEN EIGENSCHAFTEN 76
7.2 TRAINING VON FREISTEHENDEN SCHICHTEN 78
7.2.1 TRAININGSKONZEPTE IN MASSIVMATERIALIEN 78
7.2.2 AUTBAU UND WIRKUNGSWEISE DER SCHICHT-TRAININGSANLAGE 79
7.2.3 AUSWAHL DER ZU TRAINIERENDEN SCHICHTEN 82
7.2.4 BEOBACHTUNG DES THERMISCHEN FORMGEDAECHTNISEFFEKTS 84
7.2.5 EINFLUSS DES TRAININGS AUF DIE SCHICHTMORPHOLOGIE 86
7.2.6 EINFLUSS DES TRAININGS AUF DIE ORIENTIERUNG DER MARTENSITVARIANTEN
. 92
7.2.7 DISKUSSION DER TRAININGSERGEBNISSE 94
8 ZUSAMMENFASSUNG 99
LITERATURVERZEICHNIS 103
EIGENE VEROEFFENTLICHUNGEN 113
DANKSAGUNG 115 |
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| topic_facet | Galliumlegierung Epitaxieschicht Mikrostruktur Manganlegierung Mechanische Eigenschaft Herstellung Memory-Legierung Nickellegierung Hochschulschrift |
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