(2011). Principles of MEMS. WILEY.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Principles of MEMS. Hoboken, N.J: WILEY, 2011.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Principles of MEMS. WILEY, 2011.
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APA-Zitierstil (7. Ausg.)