Silicon technologies: ion implantation and thermal treatment
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Bibliographische Detailangaben
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: London ISTE 2011
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:1 Online-Ressource (xvii, 337 p.)
ISBN:9781848212312
1848212313
9781299187535

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