Paschke, F. (1989). Microcircuit Engineering 88: Proceedings of the International Conference on Microlithography, September 20 - 22, 1988, Vienna, Austria. North-Holland.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Paschke, Fritz. Microcircuit Engineering 88: Proceedings of the International Conference on Microlithography, September 20 - 22, 1988, Vienna, Austria. Amsterdam [u.a.]: North-Holland, 1989.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Paschke, Fritz. Microcircuit Engineering 88: Proceedings of the International Conference on Microlithography, September 20 - 22, 1988, Vienna, Austria. North-Holland, 1989.
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