Laserbasierte Nanostrukturierung mit optisch positionierten Mikrolinsen: Bericht aus dem Lehrstuhl für Photonische Technologien Prof. Dr.-Ing. Michael Schmidt
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Meisenbach
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INHALTSVERZEICHNIS
VORWORT V
KURZFASSUNG VII
ABSTRACT IX
PUBLIKATIONSLISTE XI
INHALTSVERZEICHNIS XIII
FORMELZEICHEN UND ABKUERZUNGEN XV
LATEINISCHE BUCHSTABEN XV
GRIECHISCHE BUCHSTABEN XVI
ABKUERZUNGEN XVII
1 EINLEITUNG 1
2 STAND DER WISSENSCHAFT 3
2.1 METHODEN DER MIKRO- UND NANOSTRUKTURIERUNG 3
2.2 STRUKTURIERUNG MIT OPTISCHER PINZETTE 15
3 ZIELSETZUNG UND VORGEHENSWEISE 21
4 THEORETISCHE GRUNDLAGEN UND BERECHNUNGEN 23
4.1 NAHFELDFOKUSSIERUNG 23
4.2 EINFLUESSE AUF DIE POSITIONIERUNG DER MIKROPARTIKEL 30
4.3 OPTISCHE KRAEFTE 31
4.4 BROWNSCHE BEWEGUNG 39
4.5 OBERFLAECHENKRAEFTE 45
5 VERSUCHSAUFBAU UND EXPERIMENTELLE METHODEN 51
5.1 VERSUCHSAUFBAU 51
5.2 PROBENPRAEPARATION 54
5.3 MESSUNG DER PARTIKELPOSITION 55
5.4 MESSUNG DER STEIFIGKEIT DER OPTISCHEN PINZETTE 59
5.5 BESTIMMUNG DER ABLATIONSSCHWELLEN 61
5.6 BESTIMMUNG DER FLUENZ IM OTAN-PROZESS 63
5.7 AUSWERTUNG DER STRUKTURIERUNGEN 63
6 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE UND DISKUSSION 65
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XIV INHALTSVERZEICHNIS
6.1 POSITIONIEREN DER MIKROPARTIKEL 65
6.2 ABTRAGSCHWELLEN DER SUBSTRATMATERIALIEN 77
6.3 EXPERIMENTELLER NACHWEIS DES OTAN-PROZESSES 81
6.4 EINFLUSS DER AXIALEN PARTIKELPOSITION 82
6.5 ERREICHBARE STRUKTURGROESSEN UND VERSTAERKUNGSFAKTOREN 85
6.6 BEGRENZUNG DER GENAUIGKEIT UND DER VORSCHUBGESCHWINDIGKEIT 93
6.7 EXKURS: OPTISCHE RUECKSTELLUNG AUSGELENKTER PARTIKEL MITTELS
TAG-LINSE 97
6.8 VERGLEICH DER STRUKTURGROESSEN MIT DIREKTER LASERSTRUKTURIERUNG IM
FERNFELD 106
7 ZUSAMMENFASSUNG 109
BIBLIOGRAPHIE 111
ABBILDUNGSVERZEICHNIS 119
TABELLENVERZEICHNIS 123
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