Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin
Pro Business
2013
|
| Edition: | 1. Aufl. |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltstext Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | VIII, 148 S. 30 cm, 446 g |
| ISBN: | 9783863869649 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV041412161 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 131113s2013 gw m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 13,N22 |2 dnb | ||
| 015 | |a 13,A23 |2 dnb | ||
| 016 | 7 | |a 1034889052 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 9783863869649 |c kart. : EUR 25.00 (DE), EUR 25.70 (AT), sfr 35.50 (freier Pr.) |9 978-3-86386-964-9 | ||
| 024 | 3 | |a 9783863869649 | |
| 028 | 5 | 2 | |a Best.-Nr.: 13932 |
| 035 | |a (OCoLC)846955867 | ||
| 035 | |a (DE-599)DNB1034889052 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c XA-DE-BE | ||
| 049 | |a DE-29T | ||
| 082 | 0 | |a 621.31244 |2 22/ger | |
| 082 | 0 | |a 621.38152 |2 22/ger | |
| 084 | |a 670 |2 sdnb | ||
| 084 | |a 530 |2 sdnb | ||
| 084 | |a 621.3 |2 sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Strobel, Carsten |d 1981- |e Verfasser |0 (DE-588)1035218402 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen |c Carsten Strobel |
| 250 | |a 1. Aufl. | ||
| 264 | 1 | |a Berlin |b Pro Business |c 2013 | |
| 300 | |a VIII, 148 S. |c 30 cm, 446 g | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2013 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Amorpher Zustand |0 (DE-588)4306087-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünnschichtsolarzelle |0 (DE-588)4150833-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrokristall |0 (DE-588)4169828-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Hochfrequenzplasma |0 (DE-588)4498170-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Dünnschichtsolarzelle |0 (DE-588)4150833-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Amorpher Zustand |0 (DE-588)4306087-0 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Mikrokristall |0 (DE-588)4169828-9 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Hochfrequenzplasma |0 (DE-588)4498170-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m X:MVB |q text/html |u http://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=4339487&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm |3 Inhaltstext |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=026859438&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-026859438 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1806326341961777152 |
|---|---|
| adam_text |
IMAGE 1
INHALTSVERZEICHNIS
I ABKUERZUNGS- UND SYMBOLVERZEICHNIS V
1. EINLEITUNG 1
2. AMORPHES UND MIKROKRISTALLINES SILIZIUM 5
2.1. GRUNDLEGENDE MATERIALEIGENSCHAFTEN 5
2.2. P-I-N SOLARZELLEN 8
3. MESSTECHNIK FUER EINZELSCHICHTEN UND SOLARZELLEN 11
3.1. LEITFAEHIGKEIT UND AKTIVIERUNGSENERGIE 1 1
3.2. SCHICHTDICKE, BRECHUNGSINDEX UND OPTISCHE BANDLUECKE 12
3.3. WASSERSTOFFGEHALT UND STRUKTURFAKTOR 13
3.4. KRISTALLINER VOLUMENANTEIL 14
3.5. SEKUNDAERIONEN-MASSENSPEKTROMETRIE 15
3.6. SOLARZELLENCHARAKTERISIERUNG 16
4. HERSTELLUNG VON SILIZIUMBASIERTEN DUENNSCHICHTENSOLARZELLEN 19
4.1. PLASMAUNTERSTUETZTE CHEMISCHE GASPHASENABSCHEIDUNG 20
4.2. EINFLUSS DER PLASMA-ANREGUNGSFREQUENZ 22
4.3. PRAEPARATION VON KLEINFLAECHIGEN SOLARZELLEN 23
4.4. DYNAMISCHE SCHICHTHERSTELLUNG 24
4.4.1. ALLGEMEINE FUNKTIONSWEISE DER DYNAMISCHEN SCHICHTABSCHEIDUNG 2 4
4.4.2. AUFBAU DER FORSCHUNGSANLAGE UND BESCHICHTUNGSABLAUF 25
5. TECHNOLOGIEENTWICKLUNG DYNAMISCH ABGESCHIEDENER
SI-DUENNSCHICHTSOLARZELLEN.29
5.1. AMORPHES SILIZIUM 29
5.1.1. ALLGEMEINE PROZESSVERBESSERUNGEN 3 1
5.1.1.1. KONTAKTKONFIGURATION 3 1
5.1.1.2. RUECKKONTAKT 3 1
5.1.1.3. THERMISCHE SOLARZELLENNACHBEHANDLUNG 34
5.1.1.4. TEXTURIERTER FRONTSEITENKONTAKT 36
5.1.1.5. SUBSTRATVORBEHANDLUNG 37
5.1.2. EINFLUSS DER P-DOTIERTEN SCHICHT 4 0
5.1.2.1. UNTERSUCHUNG VON EINZELSCHICHTEN 4 1
HTTP://D-NB.INFO/1034889052
IMAGE 2
5.1.2.2. FEINOPTIMIERUNG IN P-I-N SOLARZELLEN 47
5.1.3. EINFLUSS DER SUBSTRATTEMPERATUR 54
5.1.4. EINFLUSS DER SILANKONZENTRATION 58
5.1.5. WEITERE TECHNOLOGISCHE VERAENDERUNGEN 62
5.1.6. EIGENSCHAFTEN OPTIMIERTER AMORPHER P-I-N SOLARZELLEN 63
5.1.7. DEGRADATION VON AMORPHEN SILIZIUMSOLARZELLEN 65
5.1.8. ABSCHEIDERATE DYNAMISCH HERGESTELLTER A-SI:H SOLARZELLEN 67
REPRODUZIERBARKEIT DER ABSCHEIDUNG VON A-SI:H EINZELSOLARZELLEN 69
5.1.9. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 7 1
5.2. MIKROKRISTALLINES SILIZIUM 72
5.2.1. OPTIMIERUNG DER P-DOTIERTEN FENSTERSCHICHT 72
5.2.2. (JC-SI:H P-I-N EINZELSOLARZELLEN 75
5.2.3. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 77
6. HOMOGENITAET DER ABSCHEIDUNG 81
6.1. OPTIMIERTE A-SI:H- UND |IC -SI:H-ABSORBERSCHICHTEN 8 1
6.2. SOLARZELLEN 8 4
6.3. ZUSAMMENFASSUNG 85
7. UNTERSUCHUNG DER DYNAMIK BEI DER SCHICHTABSCHEIDUNG 87
7.1. EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 87
7.1.1. EINZELSCHICHTEN 87
7.1.2. SOLARZELLEN 90
7.2. MODELLIERUNG DER DYNAMISCHEN ABSCHEIDUNG 92
7.2.1. PHYSIKALISCHES MODELL DER A-SI:H SOLARZELLE 92
7.2.2. SIMULATION EINER DYNAMISCH HERGESTELLTEN A-SI:H P-I-N SOLARZELLE
9 6
7.2.3. SOLARZELLENMODELL MIT FUENFFACH UNTERGLIEDERTER ABSORBERSCHICHT 97
7.2.4. EINORDNUNG DES MODELLS DER DYNAMISCHEN SOLARZELLENABSCHEIDUNG 105
8. KAPAZITAET UND KOSTEN DER DYNAMISCHEN VHF-PECVD 107
8.1. PRODUKTIONSKAPAZITAET EINER IMAGINAEREN DYNAMISCHEN FERTIGUNGSLINIE
107
8.2. EINORDNUNG UND PERSPEKTIVEN DER DYNAMISCHEN FERTIGUNG 112
9. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 115
II ABBILDUNGSVERZEICHNIS 119
IMAGE 3
III TABELLENVERZEICHNIS 125
IV LITERATURVERZEICHNIS 127
V VEROEFFENTLICHUNGEN 143
VI LEBENSLAUF 145
VII DANKSAGUNG 147 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Strobel, Carsten 1981- |
| author_GND | (DE-588)1035218402 |
| author_facet | Strobel, Carsten 1981- |
| author_role | aut |
| author_sort | Strobel, Carsten 1981- |
| author_variant | c s cs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV041412161 |
| ctrlnum | (OCoLC)846955867 (DE-599)DNB1034889052 |
| dewey-full | 621.31244 621.38152 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 621 - Applied physics |
| dewey-raw | 621.31244 621.38152 |
| dewey-search | 621.31244 621.38152 |
| dewey-sort | 3621.31244 |
| dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
| discipline | Physik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| edition | 1. Aufl. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV041412161</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">131113s2013 gw m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">13,N22</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">13,A23</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">1034889052</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783863869649</subfield><subfield code="c">kart. : EUR 25.00 (DE), EUR 25.70 (AT), sfr 35.50 (freier Pr.)</subfield><subfield code="9">978-3-86386-964-9</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="3" ind2=" "><subfield code="a">9783863869649</subfield></datafield><datafield tag="028" ind1="5" ind2="2"><subfield code="a">Best.-Nr.: 13932</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)846955867</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB1034889052</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE-BE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">621.31244</subfield><subfield code="2">22/ger</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">621.38152</subfield><subfield code="2">22/ger</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">670</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">530</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">621.3</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Strobel, Carsten</subfield><subfield code="d">1981-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1035218402</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen</subfield><subfield code="c">Carsten Strobel</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin</subfield><subfield code="b">Pro Business</subfield><subfield code="c">2013</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VIII, 148 S.</subfield><subfield code="c">30 cm, 446 g</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2013</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Amorpher Zustand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4306087-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünnschichtsolarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150833-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrokristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169828-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hochfrequenzplasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4498170-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Dünnschichtsolarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150833-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Amorpher Zustand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4306087-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Mikrokristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169828-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Hochfrequenzplasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4498170-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">X:MVB</subfield><subfield code="q">text/html</subfield><subfield code="u">http://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=4339487&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm</subfield><subfield code="3">Inhaltstext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=026859438&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-026859438</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV041412161 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-08-03T01:03:58Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783863869649 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-026859438 |
| oclc_num | 846955867 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T |
| owner_facet | DE-29T |
| physical | VIII, 148 S. 30 cm, 446 g |
| publishDate | 2013 |
| publishDateSearch | 2013 |
| publishDateSort | 2013 |
| publisher | Pro Business |
| record_format | marc |
| spelling | Strobel, Carsten 1981- Verfasser (DE-588)1035218402 aut Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen Carsten Strobel 1. Aufl. Berlin Pro Business 2013 VIII, 148 S. 30 cm, 446 g txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2013 Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Dünnschichtsolarzelle (DE-588)4150833-6 gnd rswk-swf Mikrokristall (DE-588)4169828-9 gnd rswk-swf PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf Hochfrequenzplasma (DE-588)4498170-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Dünnschichtsolarzelle (DE-588)4150833-6 s Silicium (DE-588)4077445-4 s Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 s Mikrokristall (DE-588)4169828-9 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s Hochfrequenzplasma (DE-588)4498170-3 s DE-604 X:MVB text/html http://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=4339487&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm Inhaltstext DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=026859438&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Strobel, Carsten 1981- Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Dünnschichtsolarzelle (DE-588)4150833-6 gnd Mikrokristall (DE-588)4169828-9 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Hochfrequenzplasma (DE-588)4498170-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4306087-0 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4150833-6 (DE-588)4169828-9 (DE-588)4267316-1 (DE-588)4498170-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen |
| title_auth | Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen |
| title_exact_search | Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen |
| title_full | Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen Carsten Strobel |
| title_fullStr | Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen Carsten Strobel |
| title_full_unstemmed | Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen Carsten Strobel |
| title_short | Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen |
| title_sort | dynamische plasmaunterstutzte gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen silizium dunnschichtsolarzellen mittels linearer hochstfrequenz plasmaquellen |
| topic | Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Dünnschichtsolarzelle (DE-588)4150833-6 gnd Mikrokristall (DE-588)4169828-9 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Hochfrequenzplasma (DE-588)4498170-3 gnd |
| topic_facet | Amorpher Zustand Silicium Dünnschichtsolarzelle Mikrokristall PECVD-Verfahren Hochfrequenzplasma Hochschulschrift |
| url | http://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=4339487&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=026859438&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT strobelcarsten dynamischeplasmaunterstutztegasphasenabscheidungvonamorphenundmikrokristallinensiliziumdunnschichtsolarzellenmittelslinearerhochstfrequenzplasmaquellen |