Gerlich, L. (2012). In situ ARXPS Charakterisierung von tantalbasierten Barriereschichten.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Gerlich, Lukas. In Situ ARXPS Charakterisierung Von Tantalbasierten Barriereschichten. 2012.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Gerlich, Lukas. In Situ ARXPS Charakterisierung Von Tantalbasierten Barriereschichten. 2012.
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