Hahmann, P. (2012). Jenaer Arbeiten zur Elektronenstrahllithographie.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hahmann, Peter. Jenaer Arbeiten Zur Elektronenstrahllithographie. 2012.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hahmann, Peter. Jenaer Arbeiten Zur Elektronenstrahllithographie. 2012.
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