Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Stuttgart
Inst. für Techn. Optik, Univ.
2012
|
| Series: | Berichte aus dem Institut für Technische Optik
72 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 144, XXXII S. graph. Darst. |
| ISBN: | 9783923560714 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV040449252 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20121011 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 121001s2012 d||| m||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 9783923560714 |9 978-3-923560-71-4 | ||
| 035 | |a (OCoLC)801774622 | ||
| 035 | |a (DE-599)BSZ367050013 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-703 |a DE-83 | ||
| 082 | 0 | |a 620.440287 |2 22/ger | |
| 084 | |a UH 5400 |0 (DE-625)145660: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Berger, Reinhard |d 1976- |e Verfasser |0 (DE-588)102358753X |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie |c Reinhard Berger |
| 264 | 1 | |a Stuttgart |b Inst. für Techn. Optik, Univ. |c 2012 | |
| 300 | |a 144, XXXII S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Berichte aus dem Institut für Technische Optik |v 72 | |
| 502 | |a Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2012 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Optische Messung |0 (DE-588)4121429-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Interferometrie |0 (DE-588)4027296-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Topografie |0 (DE-588)4133697-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Messunsicherheit |0 (DE-588)4210374-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Optische Messung |0 (DE-588)4121429-8 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Interferometrie |0 (DE-588)4027296-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Topografie |0 (DE-588)4133697-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Messunsicherheit |0 (DE-588)4210374-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Berichte aus dem Institut für Technische Optik |v 72 |w (DE-604)BV000013990 |9 72 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=025296945&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-025296945 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804149509412880384 |
|---|---|
| adam_text | IMAGE 1
INHALTSVERZEICHNIS
VERZEICHNIS D E R ABKUERZUNGEN UND FORMELZEICHEN 9
A B S T R A C T 15
1 EINLEITUNG 25
1.1 MOTIVATION DER ARBEIT 25
1.2 AUFBAU DER ARBEIT 2 7
2 GRUNDLAGEN D E R OPTISCHEN TOPOGRAFIEMESSTECHNIK 29
2.1 CHARAKTERISIERUNG VON LICHT 29
2.2 WECHSELWIRKUNG VON LICHT MIT MESSOBJEKTEN 34
2.3 OPTISCHE TOPOGRAFIEMESSVERFAHREN 42
2.4 INTERFEROMETRISCHE VERFAHREN: KLASSISCHE INTERFEROMETRIE 4 4
2.4.1 INTERFERENZEN MIT MONOCHROMATISCHEM LICHT 4 5
2.4.2 ANWENDUNGEN DER KLASSISCHEN INTERFEROMETRIE 4 8
2.4.3 GRENZEN DER KLASSISCHEN INTERFEROMETRIE 49
2.5 INTERFEROMETRISCHE VERFAHREN: WEISSLICHTINTERFEROMETRIE 50
2.5.1 INTERFERENZEN MIT KURZKOHAERENTEM LICHT 51
2.5.1.1 EINSATZ EINES SPEKTROMETERS 52
2.5.1.2 EINSATZ EINES MONOCHROM-DETEKTORS 54
2.5.1.3 EINFLUSS DER LICHTQUELLE 58
2.5.1.4 EINFLUSS DER NUMERISCHEN APERTUR DES MESSOBJEKTIVS 59
2.5.2 NUMERISCHE SIGNALAUSWERTUNG 62
2.5.2.1 UEBERSICHT DER METHODEN 63
2.5.2.2 LOCK-IN METHODE 64
2.5.2.3 FREQUENZ-DOMAIN ANALYSE 65
2.5.3 ANWENDUNGEN DER WEISSLICHTINTERFEROMETRIE 66
5
HTTP://D-NB.INFO/1024434443
IMAGE 2
2.5.4 BESCHREIBUNG VERSCHIEDENER ANORDNUNGEN 6 7
2.6 WEITERE INTERFEROMETRISCHE VERFAHREN 6 8
3 EXEMPLARISCHE M E S S U N G E N 69
3.1 BESCHREIBUNG DES OPTISCHEN MESSAUFBAUS 69
3.2 MESSERGEBNISSE UND DEREN ANALYSE 73
3.2.1 SINUSNORMAL 75
3.2.2 VERKIPPTER PLANSPIEGEL 77
3.2.3 WAELZLAGERKUGEL 79
3.2.4 HOEHENSTUFEN 80
4 BETRACHTUNGEN Z U R MESSUNSICHERHEIT 85
4.1 BEGRIFFE UND DEFINITIONEN 85
4.2 MESSABWEICHUNGEN BEI OPTISCHEN TOPOGRAFIEMESSSYSTEMEN 91
4.3 MESSABWEICHUNGEN BEI DER WEISSLICHTINTERFEROMETRIE 92
4.3.1 AUSWIRKUNGEN DER MESSABWEICHUNGEN 93
4.3.2 URSACHEN DER MESSABWEICHUNGEN 94
4.3.2.1 EINFLUSS DES MESSSYSTEMS 94
4.3.2.2 EINFLUSS DER MESSUMGEBUNG UND DES BEDIENERS 95
4.3.2.3 EINFLUSS DES MESSOBJEKTS 96
5 ANALYSE D E S EINFLUSSES D E R PROBENTOPOGRAFIE 99
5.1 SYSTEMATISCHE ABWEICHUNGEN VON DER IDEALEN KORRELOGRAMMPOSITION 100
5.2 SYSTEMATISCHE ABWEICHUNGEN VON DER IDEALEN KORRELOGRAMRNFORM 101
5.2.1 MODELLIERUNG EINES SCANNENDEN WEISSLICHTINTERFEROMETERS 103
5.2.1.1 ANALYTISCHE BETRACHTUNGEN 103
5.2.1.2 GRAFISCHE BETRACHTUNGEN 107
5.2.1.3 ANORDNUNG ZUR PULSFORMUNG 110
5.2.1.4 GEOMETRISCH-OPTISCHES STRAHLENMODELL 111
5.2.1.5 BEUGUNGS-OPTISCHES MODELL 115
5.3 SYSTEMATISCHE STOERANFAELLIGKEIT DER AUSWERTUNGSALGORITHMEN 116
5.4 MODELLIERUNG DER EINFLUESSE DER PROBENTOPOGRAFIE 116
5.4.1 MESSOBJEKTE MIT LOKAL VARIIERENDER PROBENSTEIGUNG 116
6
IMAGE 3
5.4.1.1 PUPILLENAUSLEUCHTUNG 117
5.4.1.2 CHROMATISCHE ABERRATIONEN 119
5.4.1.3 NUMERISCHE SIMULATIONEN 124
5.4.2 HOEHENSTUFEN 126
5.4.3 RAUE OBERFLAECHEN 128
5.4.4 MESSOBJEKTE MIT SCHICHTSYSTEMEN 129
6 METHODEN Z U R REDUKTION D E R S Y S T E M A T I S C H E N
MESSABWEICHUNGEN 131
6.1 ALLGEMEINER UEBERBLICK 131
6.2 HARDWAREBASIERTE METHODEN 133
6.2.1 REDUKTION DER CHROMATISCHEN ABERRATIONEN 133
6.2.2 KOMPENSIERUNG DER CHROMATISCHEN ABERRATIONEN 135
6.2.3 ALTERNATIVE WEISSLICHTINTERFEROMETER 136
6.3 SOFTWAREBASIERTE METHODEN 137
7 Z U S A M M E N F A S S U N G U N D AUSBLICK 139
7.1 ZUSAMMENFASSUNG 139
7.2 AUSBLICK 143
ANHANG I
A) BERECHNUNG DER KOHAERENZZEIT I
B) BRECHZAHLFUNKTION DER GLASSORTE N-BK7 IV
C) BESCHREIBUNG VERSCHIEDENER INTERFEROMETERANORDNUNGEN V
D) BERECHNUNG DER PUPILLENAUSLEUCHTUNG VIII
LITERATURVERZEICHNIS XI
LEBENSLAUF XXIX
DANKSAGUNG XXXI
7
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Berger, Reinhard 1976- |
| author_GND | (DE-588)102358753X |
| author_facet | Berger, Reinhard 1976- |
| author_role | aut |
| author_sort | Berger, Reinhard 1976- |
| author_variant | r b rb |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV040449252 |
| classification_rvk | UH 5400 |
| ctrlnum | (OCoLC)801774622 (DE-599)BSZ367050013 |
| dewey-full | 620.440287 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 620 - Engineering and allied operations |
| dewey-raw | 620.440287 |
| dewey-search | 620.440287 |
| dewey-sort | 3620.440287 |
| dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01926nam a2200445 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV040449252</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20121011 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">121001s2012 d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783923560714</subfield><subfield code="9">978-3-923560-71-4</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)801774622</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BSZ367050013</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">620.440287</subfield><subfield code="2">22/ger</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UH 5400</subfield><subfield code="0">(DE-625)145660:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Berger, Reinhard</subfield><subfield code="d">1976-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)102358753X</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie</subfield><subfield code="c">Reinhard Berger</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Stuttgart</subfield><subfield code="b">Inst. für Techn. Optik, Univ.</subfield><subfield code="c">2012</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">144, XXXII S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus dem Institut für Technische Optik</subfield><subfield code="v">72</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2012</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Optische Messung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121429-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Interferometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027296-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Topografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133697-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Messunsicherheit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4210374-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Optische Messung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121429-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Interferometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027296-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Topografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133697-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Messunsicherheit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4210374-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Berichte aus dem Institut für Technische Optik</subfield><subfield code="v">72</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000013990</subfield><subfield code="9">72</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=025296945&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-025296945</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV040449252 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T00:24:10Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783923560714 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-025296945 |
| oclc_num | 801774622 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-703 DE-83 |
| owner_facet | DE-703 DE-83 |
| physical | 144, XXXII S. graph. Darst. |
| publishDate | 2012 |
| publishDateSearch | 2012 |
| publishDateSort | 2012 |
| publisher | Inst. für Techn. Optik, Univ. |
| record_format | marc |
| series | Berichte aus dem Institut für Technische Optik |
| series2 | Berichte aus dem Institut für Technische Optik |
| spelling | Berger, Reinhard 1976- Verfasser (DE-588)102358753X aut Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie Reinhard Berger Stuttgart Inst. für Techn. Optik, Univ. 2012 144, XXXII S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus dem Institut für Technische Optik 72 Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2012 Optische Messung (DE-588)4121429-8 gnd rswk-swf Interferometrie (DE-588)4027296-5 gnd rswk-swf Topografie (DE-588)4133697-5 gnd rswk-swf Messunsicherheit (DE-588)4210374-5 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Optische Messung (DE-588)4121429-8 s Interferometrie (DE-588)4027296-5 s Topografie (DE-588)4133697-5 s Messunsicherheit (DE-588)4210374-5 s DE-604 Berichte aus dem Institut für Technische Optik 72 (DE-604)BV000013990 72 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=025296945&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Berger, Reinhard 1976- Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie Berichte aus dem Institut für Technische Optik Optische Messung (DE-588)4121429-8 gnd Interferometrie (DE-588)4027296-5 gnd Topografie (DE-588)4133697-5 gnd Messunsicherheit (DE-588)4210374-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4121429-8 (DE-588)4027296-5 (DE-588)4133697-5 (DE-588)4210374-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie |
| title_auth | Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie |
| title_exact_search | Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie |
| title_full | Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie Reinhard Berger |
| title_fullStr | Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie Reinhard Berger |
| title_full_unstemmed | Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie Reinhard Berger |
| title_short | Zum Einfluss der Probentopografie auf die Messunsicherheit bei der Weißlichtinterferometrie |
| title_sort | zum einfluss der probentopografie auf die messunsicherheit bei der weißlichtinterferometrie |
| topic | Optische Messung (DE-588)4121429-8 gnd Interferometrie (DE-588)4027296-5 gnd Topografie (DE-588)4133697-5 gnd Messunsicherheit (DE-588)4210374-5 gnd |
| topic_facet | Optische Messung Interferometrie Topografie Messunsicherheit Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=025296945&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV000013990 |
| work_keys_str_mv | AT bergerreinhard zumeinflussderprobentopografieaufdiemessunsicherheitbeiderweißlichtinterferometrie |