Produktives Schleifen von dreidimensionalen Mikrostrukturen:
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| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Garbsen
PZH, Produktionstechn. Zentrum
2012
|
| Series: | Berichte aus dem IFW
2012,6 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | XII, 141 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS V
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
2 STAND DES WISSENS 3
2.1 EINSATZGEBIETE VON MIKROBAUTEILEN 3
2.2 WERKSTOFFE FUER MIKROBAUTEILE 6
2.3 BEARBEITUNGSVERFAHREN FUER MIKROBAUTEILE 6
2.3.1 THERMISCHE VERFAHREN 6
2.3.2 ELEKTROCHEMISCHE VERFAHREN 12
2.3.3 SPANENDE MIKROFERTIGUNGSVERFAHREN 14
2.3.4 EINSATZVORBEREITUNG 18
2.4 FAZIT ZUM STAND DES WISSENS 27
3 ZIELSETZUNG UND VORGEHENSWEISE 29
4 VERSUCHSEINRICHTUNGEN UND -DURCHFUEHRUNG 31
4.1 VERSUCHSMASCHINEN 31
4.1.1 PRAEZISIONSSCHLEIFMASCHINE 31
4.1.2 ABRICHTTECHNOLOGIE 32
4.2 WERKZEUGE 34
4.3 VERSUCHSWERKSTOFFE 36
4.4 MESSTECHNIK 37
4.4.1 KRAFTMESSUNG 37
4.4.2 STROM- UND SPANNUNGSMESSUNG BEIM ABRICHTEN 37
4.4.3 GESTALTMESSUNG 38
4.5 LUFTLAGERGEOMETRIE UND ANFORDERUNGEN AN SCHLEIFSCHEIBENMIKROPROFIL
41
4.6 VERSUCHSPLANUNG 43
4.7 FEHLERBETRACHTUNG 46
5 DRAHTELEKTRODENBASIERTE PROFILIERUNG VON SCHLEIFWERKZEUGEN 52
5.1 EINFLUSS DER STELLGROESSEN AUF HERSTELLBARE PROFILSTRUKTUREN 52
5.1.1 ABRICHTLEERLAUFSPANNUNG UND BEGRENZUNG DES KURZSCHLUSSSTROMS 52
5.1.2 ELEKTRODENVORSCHUBGESCHWINDIGKEIT 60
5.1.3 ELEKTRODENZUSTELLBETRAG 63
5.2 EINFLUSS DER SYSTEMGROESSEN AUF HERSTELLBARE PROFILSTRUKTUREN 65
5.2.1 ELEKTRODENMATERIAL 65
5.2.2 DURCHMESSER DES ELEKTRODENDRAHTES 67
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IMAGE 2
VI
INHALTSVERZEICHNIS
5.2.3 KORNGROESSE DER SCHLEIFSCHEIBE 69
5.2.4 BINDUNGSSPEZIFIKATION DER SCHLEIFSCHEIBE 71
5.3 MODELL ZUM MIKROPROFILIEREN 75
5.4 PROFILIEREN VON MEHRFACH MIKROPROFILEN 80
6 SCHLEIFEN KLEINER STRUKTUREN 87
6.1 STEG- UND NUTFOERMIGE MIKROSTRUKTUREN 88
6.1.1 ABWEICHUNGEN ZWISCHEN SCHLEIFSCHEIBENPROFIL UND GESCHLIFFENER
NUTSTRUKTUR INFOLGE DYNAMISCHER EFFEKTE 90
6.1.2 VERSCHLEISS DER MIKROPROFILE 92
6.1.3 SKALIERUNG DER STRUKTUREN 95
6.2 QUADERFOERMIGE MIKROSTRUKTUREN 99
6.2.1 EINFLUSS DES WERKSTOFFS UND DES SCHLEIFPROZESSES AUF DIE
BAUTEILQUALITAET 100
6.2.2 ERHOEHUNG DES PROFILFLANKENWINKELS 108
6.2.3 GROSSFLAECHIGE APPLIKATION UND SKALIERUNG DER MIKROSTRUKTUREN 111
6.2.4 BEWERTUNG DER WIRTSCHAFTLICHKEIT ZUM STRUKTURIEREN GROSSER
FLAECHEN... 116
7 FOLGERUNGEN FUER DIE PRAXIS 119
8 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 122
LITERATURVERZEICHNIS 125
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