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(2011). Introduction to Microsystem Design. Springer Berlin Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-19489-4

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Introduction to Microsystem Design. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2011. https://doi.org/10.1007/978-3-642-19489-4.

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Introduction to Microsystem Design. Springer Berlin Heidelberg, 2011. https://doi.org/10.1007/978-3-642-19489-4.

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