Hartzell, A. L., da Silva, M. G., & Shea, H. R. (2011). MEMS Reliability. Springer US. https://doi.org/10.1007/978-1-4419-6018-4
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hartzell, Allyson L., Mark G. da Silva, und Herbert R. Shea. MEMS Reliability. Boston, MA: Springer US, 2011. https://doi.org/10.1007/978-1-4419-6018-4.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hartzell, Allyson L., et al. MEMS Reliability. Springer US, 2011. https://doi.org/10.1007/978-1-4419-6018-4.
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