(2006). MEMS: A practical guide to design, analysis, and applications. William Andrew [u.a.].
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications. Norwich, NY: William Andrew [u.a.], 2006.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications. William Andrew [u.a.], 2006.
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