Elektrochemisches Laser-Jet-Verfahren zur Mikrostrukturierung von Metallen:
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Bremen
BIAS
2011
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INHALTSVERZEICHNIS
VERZEICHNIS VERWENDETER SYMBOLE III
1. EINLEITUNG 1
2. STAND DER TECHNIK 3
2.1. ANWENDUNGSFELDER DER MIKROMATERIALBEARBEITUNG 3
2.2. VERFAHREN DER MIKROMATERIALBEARBEITUNG 4
2.2.1. MIKROFRAESEN 4
2.2.2. MIKROFUNKENEROSION 6
2.2.3. ELEKTROCHEMISCHE MIKROBEARBEITUNG 8
2.2.4. LASERMIKROMATERIALBEARBEITUNG 10
2.2.5. LASERCHEMISCHE MIKROMATERIALBEARBEITUNG 13
2.2.6. VERGLEICH DER MIKROMATERIALBEARBEITUNGSVERFAHREN 15
2.3. ELEKTROCHEMISCHE REAKTIONSSYSTEME 16
2.3.1. ELEKTROCHEMISCHES POTENTIAL 16
2.3.2. KINETIK HETEROGENER CHEMISCHER REAKTIONSSYSTEME 19
3. ZIELSETZUNG 23
4. METHODEN 25
4.1. WERKSTOFFE UND ELEKTROLYTEN 25
4.2. EXPERIMENTELLER AUFBAU 26
4.2.1. BEARBEITUNGSSTATION 26
4.2.2. POTENTIALMESSUNG UND -REGELUNG 29
4.2.3. TEMPERATURMESSUNG UND -REGELUNG 30
4.3. BEARBEITUNGSPARAMETER 30
4.4. BEARBEITUNGSKENNGROESSEN 30
4.5. ANALYSEMETHODEN 31
4.5.1. LICHTMIKROSKOPIE 31
4.5.2. ELEKTRONENMIKROSKOPIE 33
4.5.3. PROFILOMETRIE 33
5. ERGEBNISSE 35
5.1. LASERCHEMISCHER ABTRAG 35
5.1.1. EINFLUSS DES AETZMITTEL-JETS 35
5.1.2. EINFLUSS DES AETZMITTELS 36
5.1.3. EINFLUSS DER LASERWELLENLAENGE 38
5.1.4. ZEITLICHER VERLAUF DES ABTRAGSVERHALTENS 39
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/1018149929
DIGITALISIERT DURCH
IMAGE 2
5.1.5. TEMPERATURABHAENGIGKEIT DES ABTRAGSVERHALTENS 39
5.1.6. EINFLUSS DER LASERLEISTUNG UND DER FLUSSRATE 41
5.1.7. EINFLUSS DER LASERLEISTUNG UND DER VORSCHUBGESCHWINDIGKEIT 49
5.1.8. EINFLUSS DER FOKUSLAGE 51
5.1.9. EINFLUSS DES WERKSTOFFS 53
5.2. LASERCHEMISCHER ABTRAG UNTER EINWIRKUNG ELEKTRISCHER FELDER 55
5.3. FORMGEBUNGSSTRATEGIEN 58
5.3.1. MEHRFACHES SCANNEN 58
5.3.2. MEHRFACHES SCANNEN MIT LATERALEM VERSATZ 59
5.3.3. EINFACHES SCANNEN IM MULTIMODE-BETRIEB 60
5.3.4. ABBILDENDES SCANNEN IM MULTIMODE-BETRIEB 62
6. ABTRAGSMECHANISMEN 65
7. FORM UND QUALITAET 71
8. PROTOTYPENHERSTELLUNG 73
8.1. SELEKTIVE STRUKTURIERUNG VON DUENNSCHICHTSYSTEMEN 73
8.2. MIKROSCHNEIDEN VON METALLISCHEN FOLIEN 74
8.3. MIKROSTRUKTURIERUNG MIT DEFINIERTER FORMGEBUNG 76
9. ZUSAMMENFASSUNG 79
LITERATURVERZEICHNIS 81
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