Wellenfrontsensor nach dem Shack-Hartmann-Prinzip auf Basis einer digitalen Mikrospiegel-Matrix:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Apprimus-Verl.
2011
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Ergebnisse aus der Produktionstechnik
2011,18 : Produktionsqualität und Messtechnik |
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Datensatz im Suchindex
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINFUEHRUNG
.................................,..**..*.* .*..*...................................**.** .*..*.* ..*..*.*.................
1
1.1 GEGENSTAND UND ZIELSETZUNG DER UNTERSUCHUNG 2
1.2 AUFBAU DER UNTERSUCHUNG 4
2 GRUNDLAGEN
..........................................................................................................................
7
2.1 DIE MIKROSPIEGELTECHNOLOGIE DES DMD 7
2.2 POSITIONSMESSUNG MIT DUOLATERALEFFEKTDIODEN 9
2.2.1 FUNKTIONSPRINZIP UND AUSFUHRUNGSARTEN 9
2.2.2 LEISTUNGSMERKMALE UND KENNGROESSEN 11
2.3 STRAHLENOPTIK UND OPTISCHE ABBILDUNGEN 13
2.3.1 GRUNDLEGENDE PRINZIPIEN DER STRAHLENOPTIK 14
2.3.2 PARAXIALE OPTIK 15
2.3.3 ABERRATIONEN OPTISCHER SYSTEME 16
2.3.4 SIMULATION OPTISCHER SYSTEME MIT STRAHLVERFOLGUNG 21
2.4 BESCHREIBUNG OPTISCHER BEUGUNGSEFFEKTE 22
2.4.1 FRAUNHOFERBEUGUNG UND FOURIERTRANSFORMATION 24
2.4.2 BEUGUNG AM GITTER 26
2.4.3 BEUGUNG AM STUFENGITTER 29
3 DIE ANFORDERUNGEN AN HOCHDYNAMISCHE WELLENFRONTMESSUNGEN..... 31
4 DER STAND DER TECHNIK DER WELLENFRONTMESSUNG 35
4.1 HARTMANN SENSOR ZUR WELLENFRONTMESSUNG 35
4.2 SHACK-HARTMANN SENSOR ZUR WELLENFRONTMESSUNG 36
4.3 ERWEITERUNG DES DYNAMIKUMFANGS VON SHACK-HARTMANN SENSOREN 38
4.3.1 OPTIMIERUNG DES MIKROLINSENARRAYS 38
4.3.2 SPOTZUORDNUNG MIT DATENVERARBEITUNG 40
4.3.3 KODIERUNG DER MESSPUNKTE UND ADAPTIVER SHACK-HARTMANN SENSOR 43
4.4 ZWISCHENFAZIT ZUR BEWERTUNG DES STANDS DER TECHNIK 45
5 DAS KONZEPT DER DMD-BASIERTEN WELLENFRONTMESSUNG .. .... ...... 49
5.1 KONZEPT UND GRUNDLEGENDER AUFBAU 50
5.2 FORSCHUNGSFRAGEN UND DETAILLIERTE ZIELSETZUNG 52
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/1018220461
DIGITALISIERT DURCH
IMAGE 2
II INHALTSVERZEICHNIS
6 DIE AUSLEGUNG DES DMD-BASIERTEN WELLENFRONTSENSORS ......... 55
6.1 AUSWAHL UND BESCHREIBUNG DER LICHTQUELLE 56
6.2 AUSLEGUNG UND EIGENSCHAFTEN DER STRAHLFORMUNG 59
6.3 AUSLEGUNG DES TELESKOPS ZUR PUPILLENABBILDUNG 61
6.3.1 GEOMETRISCHE RANDBEDINGUNGEN DES DESIGNS 62
6.3.2 MODELLIERUNG DES SYSTEMS 65
6.3.3 ANALYSE DER OPTISCHEN EIGENSCHAFTEN 67
6.4 AUSLEGUNG UND EIGENSCHAFTEN DES OPTISCHEN ANALYSATORS 72
6.5 AUSWAHL UND EIGENSCHAFTEN DES POSITIONSSENSORS 76
6.6 DIE DATENVERARBEITUNG ZUR STEUERUNG UND AUSWERTUNG 84
6.7 DIE MECHANISCHE KONSTRUKTION 88
7 DIE INESSTECHNISCHEN EIGENSCHAFTEN DES DMD-BASIERTEN
WELLENFRONTSENSORS ...91
7.1 BESCHREIBUNG DER SIGNALQUALITAET 91
7.1.1 QUALITATIVE UNTERSUCHUNG DES SIGNALS MITTELS CCD-KAMERA 92
7.1.2 QUANTITATIVE UNTERSUCHUNG DES SIGNALS MITTELS PSD 94
7.2 WIEDERHOLPRAEZISION UND STABILITAET 99
7.3 WEITERE MESSTECHNISCHE EIGENSCHAFTEN DES DEMONSTRATORAUFBAUS 103
7.4 BEISPIELMESSUNGEN 105
8 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK
...................................................................................
109
8.1 DIE ERGEBNISSE DER UNTERSUCHUNG 110
8.2 AUSBLICK 111
LITERATURVERZEICHNIS ... ... ......... ... .... ..115
ABBILDUNSSVERZEICHNIS
..........*........**...*..**.....*.....*................*..*....*...*...........*....**....***..******.*
123
XABELLENVERZEICHNIS
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127
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