InP/AlGaInP Quantenpunktlaser: Prozessierung und Emissionseigenschaften moderner Halbleiterquantenpunktlaser im sichtbaren Spektralbereich
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München
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2011
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IMAGE 1
INHALTSVERZEICHNIS
ABSTRACT 1
1 EINLEITUNG 3
2 PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN 5
2.1 MATERIALSYSTEM 5
2.2 NIEDERDIMENSIONALE SYSTEME 6
2.3 QUANTENPUNKTLASER 10
2.3.1 VERTIKALE WELLENFUEHRUNG 11
2.3.2 LATERALE WELLENFUEHRUNG 12
2.4 KENNGROESSEN VON QUANTENPUNKTLASERN 14
2.4.1 SCHWELLSTROMDICHTE 14
2.4.2 EFFIZIENZ 15
2.4.3 CHARAKTERISTISCHE TEMPERATUR 16
2.4.4 OPTISCHER EINSCHLUSSFAKTOR 16
3 EPITAXIE VON NIEDERDIMENSIONALEN SYSTEMEN 19
3.1 M E T A L L O R G A N I S C HE G A S P H A S E N E P I T A X IE 19
3.2 W A C H S T UM V ON S E L B S T O R G A N I S I E R T EN Q U A N T E
N P U N K T EN . . . 22
4 PROZESSIERUNG VON HALBLEITERQUANTENPUNKTLASERN 25
4.1 BREITSTREIFENLASER 26
4.2 RIPPENWELLENLEITERLASER 30
4.2.1 ENTFERNEN DER SEITENSTRUKTUR 33
4.2.2 NASSCHEMISCHES AETZEN 33
4.2.3 TROCKENAETZEN 35
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/1016447019
DIGITALISIERT DURCH
IMAGE 2
II INHALTSVERZEICHNIS
5 STRUKTURDESIGN 39
5.1 TRANSFER-MATRIX-METHODE 39
5.1.1 FORMALISMUS DER TRANSFER-MATRIX METHODE 40 5.2 PROGRAMM ZUR
BERECHNUNG DER WELLENFUEHRUNG 43 5.2.1 SIMULATION 44
5.2.2 RIPPENWELLENLEITERDESIGN 48
5.3 UNTERSUCHTE LASERSTRUKTUREN 51
5.3.1 LASERSTRUKTUR 1 - QUANTENPUNKTLASER BEI 660 NM . . 51 5.3.2
LASERSTRUKTUR 2 - QUANTENPUNKTLASER BEI 644 NM . . 53 5.3.3
LASERSTRUKTUR 3 - QUANTENPUNKTLASER BEI 634 NM . . 58 5.3.4
WEITERGEHENDE WELLENLEITERSIMULATION 62
6 CHARAKTERISIERUNG 65
6.1 PROBEN 65
6.2 SPEKTREN 68
6.3 LEISTUNGSCHARAKTERISTIK 73
6.4 SCHWELLSTROMDICHTE 76
6.5 RIPPENWELLENLEITER 87
6.6 TIEFTEMPERATURMESSUNG 90
6.7 STABILITAET 95
7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 99
A EPITAXIESTRUKTUREN III
B QUELLCODE MATLABPROGRAMM V
LITERATURVERZEICHNIS XXXV
ABBILDUNGSVERZEICHNIS XXXIX
TABELLENVERZEICHNIS XLV
VORTRAEGE, POSTER UND VEROEFFENTLICHUNGEN XLVII
DANKSAGUNG XLIX |
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