APA (7th ed.) Citation

Hölscher, T. (2011). Abscheidung von Siliziumnitrid mittels IC-PECVD.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Hölscher, Torsten. Abscheidung Von Siliziumnitrid Mittels IC-PECVD. Wildau, 2011.

MLA (9th ed.) Citation

Hölscher, Torsten. Abscheidung Von Siliziumnitrid Mittels IC-PECVD. 2011.

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