Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing:
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Mattox, Donald M. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam [u.a.] Elsevier [u.a.] 2010
Ausgabe:2. ed.
Schlagworte:
Beschreibung:XLVI, 746 S. graph. Darst.
ISBN:9780815520375

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