Ätzen mit Silizium mit hoher Rate in einer Plasmaätzanlage für die Verkleinerung der Substratdicke bei Kryosensoren:
Physikalische Technik
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Wildau
2011
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