Liu, C. (2012). Foundations of MEMS (2. ed., int. ed.). Pearson Prentice Hall.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Liu, Chang. Foundations of MEMS. 2. ed., int. ed. Upper Saddle River, NJ [u.a.]: Pearson Prentice Hall, 2012.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Liu, Chang. Foundations of MEMS. 2. ed., int. ed. Pearson Prentice Hall, 2012.
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