Effizienter Betrieb von Xenon-Excimer-Entladungen bei hoher Leistungsdichte:
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Karlsruhe
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| adam_text | 5.1.1 BETRIEBSGERAET MIT SINUSFOERMIGER AUSGANGSSPANNUNG 82 12
INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 15 2 GRUNDLAGEN 21 2.1 DIELEKTRISCH
BEHINDERTE ENTLADUNG (DBE) 21 2.2 XENON-EXCIMERE XE 2 * 23 2.3
AUSBILDUNGSFORMEN DER ENTLADUNG 26 2.4 ZUENDMECHANISMEN UND RUECKZUENDUNG
28 2.5 DRUCKABHAENGIGKEIT DER XE 2 -ENTLADUNG 32 3 STRAHLER UND
MESSVERFAHREN 35 3.1 STRAHLER 35 3.1.1 FLACHLAMPEN 35 3.1.2 KOAXIALE
HOCHLEISTUNGSSTRAHLER 38 3.1.3 MGF 2 -LABORLAMPE 39 3.2 INNERE
ELEKTRISCHE GROESSEN 41 3.3 GONIOMETRISCHE STRAHLUNGSFLUSSBESTIMMUNG IM
VUV 44 3.4 PLASMA-EFFIZIENZBESTIMMUNG 47 3.4.1 AUSKOPPELEFFIZIENZ FUER
KOAXIALE STRAHLER 47 3.4.2 TRANSMISSION DER AEUSSEREN BARRIERE 48 3.4.3
TRANSMISSION DER NETZELEKTRODE 50 3.4.4 BERECHNUNG DER PLASMA-EFFIZIENZ
51 4 MODELLIERUNG DER XENON-EXCIMER-DBE 53 4.1 NUMERISCHE SIMULATION 53
4.2 ELEKTRISCHE MODELLE 67 4.2.1 MODELL MIT LADUNGSSCHICHTKAPAZITAETEN 68
4.2.2 LADUNGSTRANSPORTMODELL 69 4.2.3 MAKROSKOPISCHES LAMPENMODELL 73
4.2.4 ERWEITERTES LADUNGSTRANSPORTMODELL 74 5 ELEKTRONISCHE
BETRIEBSGERAETE FUER DBE 81 5.1 BEKANNTE BETRIEBSGERAETE 82 BIBLIOGRAFISCHE
INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/100345853X DIGITALISIERT DURCH 13 5.1.2
FLYBACK-INVERTER 83 5.1.3 ADAPTIVES UNIPOLARES PULS-BETRIEBSGERAET 84
5.1.4 BURST-WAVE BETRIEBSGERAET 86 5.2 RESONANTES PULS-BETRIEBSGERAET 87
5.3 BETRIEB MIT PARALLEL-KONDENSATOR 93 6 EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN
101 6.1 EFFIZIENZ DES RESONANTEN PULS-BETRIEBSGERAETES 102 6.2
DRUCKABHAENGIGKEIT DES XE 2 *-SPEKTRUMS IM VUV 108 6.3 HOMOGENE,
GEMUSTERTE UND FILAMENTIERTE ENTLADUNGEN 111 6.3.1 SCHWELLENSTROMDICHTE
FUER HOMOGENE ENTLADUNGEN 111 6.3.2 EINFLUSS DER RUECKZUENDUNG 116 6.3.3
DRUCKABHAENGIGKEIT DER SCHWELLENSTROMDICHTE 119 6.3.4
SCHWELLENSTROMDICHTE MIT RESONANTEM PULS-BETRIEBSGERAET. 122 6.3.5
DEUTUNG DER SCHWELLENSTROMDICHTE 125 6.4 ERWEITERTES
LADUNGSTRANSPORTMODELL 127 6.5 EFFIZIENZSTEIGERNDE MITTEL 135 6.5.1
PULSDAUER 135 6.5.2 MINIMIERUNG DER GLIMMVERLUSTE 143 7 STEIGERUNG DER
LEISTUNGSDICHTE 145 7.1 ERREICHTE LEISTUNGSDICHTE UND PLASMA-EFFIZIENZ
145 7.2 REPETITIONSRATEN- UND DRUCKABHAENGIGKEIT DER LEISTUNGSDICHTE 150
7.3 MACHBARKEIT VON HOCHLEISTUNGSSTRAHLERN 156 8 ZUSAMMENFASSUNG 161 9
AUSBLICK 165 10 LITERATUR 167
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