Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen:
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Münster
Verl.-Haus Monsenstein und Vannerdat
2009
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS VERZEICHNIS DER ABKUERZUNGEN UND SYMBOLE 11 VORWORT 17
1 EINLEITUNG 19 1.1 WAFER-LEVEL-PACKAGING - SCHLUESSEL ZUR INDUSTRIELLEN
MASSENFERTIGUNG VON MIKROSYSTEMEN 19 1.2 ZIELSETZUNG DER VORLIEGENDEN
ARBEIT 20 2 VERFAHREN ZUR VERKAPPUNG VON OBERFLAECHENNAHEN
MIKROSTRUKTUREN 23 2.1 GRUNDLAGEN DES PACKAGINGS VON
MIKROELEKTROMECHANISEHEN SYSTEMEN ... 23 2.1.1 MEMS- VERSUS
MIKROELEKTRONIK-PACKAGING 23 2.1.2 FUNKTIONEN DES PACKAGINGS 25 2.1.2.1
MECHANISCHER TRAEGER 27 2.1.2.2 INTERAKTION MIT DER UMWELT 28 2.1.2.3
WAERMEABFUEHRUNG 29 2.1.2.4 SCHUTZ VOR UMWELTEINFLUESSEN 29 2.1.3 METHODEN
DES MEMS PACKAGING 32 2.2 TECHNOLOGIEN ZUR FERTIGUNG OBERFLAECHENNAHER
MIKROSTRUKTUREN 34 2.2.1 OPFERSCHICHTTECHNOLOGIEN 36 2.2.2
OPFERSCHICHTFREIE TECHNOLOGIEN 38 2.3 ANFORDERUNGEN AN DAS
YERKAPPUNGSVERFAHREN 42 2.4 VERKAPPUNG MITTELS WAFERBONDPROZESSEN 44
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/998423181 DIGITALISIERT
DURCH 5.2 WERKSTOFFUNTERSUCHUNGEN 102 8 INHALTSVERZEICHNIS 2.4.1 DIREKTE
WAFERBONDPROZESSE 45 2.4.2 WAFERBONDPROZESSE MIT ZWISCHENSCHICHTEN 47
2.5 INTEGRIERTE VERKAPPUNGSVERFAHREN 52 2.5.1 DUENNSCHICHTVERKAPPUNG
MITTELS GASPHASENABSCHEIDUNG 53 2.5.2 DUENNSCHICHTVERKAPPUNG MITTELS
GALVANISCHER ABSCHEIDUNG 58 2.5.3 POLYMERBASIERTE DUENNSCHICHTKAPPEN 59 3
KONZEPTION DER INTEGRIERTEN VERKAPPUNGSTECHNOLOGIE 61 3.1
ZUSAMMENFASSUNG DER RAHMENBEDINGUNGEN 61 3.2 GRUNDKONZEPT DER NEUEN
VERKAPPUNGSTECHNOLOGIE 63 3.3 ANFORDERUNGEN AN DIE FUNKTIONSSCHICHTEN 65
3.3.1 ANFORDERUNGEN AN DIE OPFERSCHICHT 65 3.3.2 ANFORDERUNGEN AN DIE
MEMBRANSCHICHT 66 3.3.3 ANFORDERUNGEN AN DIE VERSCHLUSSSCHICHT 67 3.4
REALISIERTE TECHNOLOGIEVARIANTEN 67 3.4.1 TECHNOLOGIEVARIANTE A AUF
BASIS VON PECVD-PROZESSEN 68 3.4.2 TECHNOLOGIEVARIANTE B MIT
ELEKTROCHEMISCHER ABSCHEIDUNG DER -MEMBRANSCHICHT 70 4 MECHANISCHER
ENTWURF DER DUENNSCHICHTKAPPE 73 4.1 GRUNDLAGEN DER PLATTENTHEORIE 75 4.2
ANALYTISCHE NAEHERUNGSLOESUNG FUER DIE DUENNSCHICHTKAPPE 81 4.3 MODELLIERUNG
DER DUENNSCHICHTKAPPE MITTELS FEM 85 4.4 KOPPLUNG DES FEM - MODELLS MIT
DER ANALYTISCHEN NAEHERUNGSLOESUNG . . . . 90 5 TECHNOLOGIEENTWICKLUNG 95
5.1 EXPERIMENTELIE VORAUSSETZUNGEN 95 5.1.1 PROBENPRAEPARATION UND
ANLAGENTECHNIK 95 5.1.2 MESSVERFAHREN UND MESSTECHNIK 99
INHALTSVERZEICHNIS 9 5.2.1 MECHANISCHE EIGENSPANNUNGEN IM SCHICHTSTAPEL
DER DUENNSCHICHTKAPPE 104 5.2.1.1 SCHICHTSPANNUNGEN IN DEN
PECVD-SCHICHTEN 106 5.2.1.2 SPANNUNGSRELAXATION UND THERMOMECHANISCHES
VERHALTEN DER GESPUTTERTEN ALUMINIUMSCHICHT 111 5.2.1.3
THERMOMECHANISCHES VERHALTEN DES SCHICHTSTAPELS 113 5.2.1.4
SCHICHTSPANNUNGEN IM GALVANISCH ABGESCHIEDENEN NICKEL . 116 5.2.2
BESTIMMUNG DES E - MODULS DER KAPPENMATERIALIEN 119 5.2.3 HAFTFESTIGKEIT
DER KAPPENMATERIALIEN 120 5.2.4 ZUSAMMENFASSUNG 122 5.3
OPFERSCHICHTTECHNIK MITTELS CF - POLYMER 122 5.3.1 PECV D VON
FLUORKOHLENSTOFF-POLYMEREN 123 5.3.2 ABSCHEIDEPROZESS UND EIGENSCHAFTEN
DER VERWENDETEN CF - SCHICHT . 124 5.3.3 ABSCHEIDUNG VON CF-POLYMER ZUR
PLANARISIERUNG VON MIKROSTRUK- TUREN 126 5.3.4 AETZUNG VON CF - POLYMEREN
MITTELS PLASMAPROZESSEN 131 5.3.5 ANISOTROPE STRUKTURIERUNG DES CF -
POLYMERS 133 5.3.6 ISOTROPE ENTFERNUNG DES CF - POLYMERS 141 5.3.7
ZUSAMMENFASSUNG UND BEWERTUNG DER ERGEBNISSE 146 5.4 REALISIERUNG DER
MEMBRANSCHICHT MITTELS SIO X :H Y 147 5.4.1 ABSCHEIDUNG DER
MEMBRANSCHICHT 147 5.4.2 STRUKTURIERUNG DER AETZOEFFNUNGEN 150 5.4.3
ZUSAMMENFASSUNG UND BEWERTUNG DER ERGEBNISSE 153 5.5 VERSCHLUSS DER
DUENNSCHICHTKAPPE 154 5.5.1 VERSCHLUSS DER AETZOEFFNUNGEN DURCH
SCHICHTABSCHEIDUNG AUS DER DAMPFPHASE 154 5.5.2 PRUEFUNG DES DICHTEN
VERSCHLUSSES DER AETZOEFFNUNGEN 158 5.5. 10 INHALTSVERZEICHNIS 6.1 ENTWURF
DES BESCHLEUNIGUNGSSENSORS 165 6.1.1 DAS FEDER-MASSE-DAEMPFER-SYSTEM 166
6.1.2 KAPAZITIVE SIGNALDETEKTION 168 6.1.3 LUFTDAEMPFUNG IN LATERAL
BEWEGTEN MIKROSTRUKTUREN 170 6.1.4 DESIGN UND DIMENSIONIERUNG 171 6.2
HERSTELLUNG DER VERKAPSELTEN MIKROSTRUKTUR 173 6.3 EXPERIMENTELLE
CHARAKTERISIERUNG 174 6.3.1 MESSAUFBAU 175 6.3.2 ERGEBNISSE 177 6.4
AUSBLICK AUF WEITERE UNTERSUCHUNGEN 180 6.5 ZUSAMMENFASSUNG DER
ERGEBNISSE 181 7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 183 A BESTIMMUNG DER
HAFTFESTIGKEIT VON SCHICHTEN NACH ASTM D3359 187 B REALISIERTE
DUENNSCHICHTKAPPEN AUS NICKEL 189 C TESTSTRUKTUREN 191
LITERATURVERZEICHNIS 193 ABBILDUNGSVERZEICHNIS 209 TABELLENVERZEICHNIS
219
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