(2005). Principles and Applications of NanoMEMS Physics. Springer. https://doi.org/10.1007/b136228
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Principles and Applications of NanoMEMS Physics. Boston, MA: Springer, 2005. https://doi.org/10.1007/b136228.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Principles and Applications of NanoMEMS Physics. Springer, 2005. https://doi.org/10.1007/b136228.
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