Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Universitätsvel. der TU
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Beschreibung: | 1 Online-Ressource (VI, 106 Bl.) Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 9783798321458 |
| DOI: | 10.14279/depositonce-2174 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nmm a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV036636895 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20160211 | ||
| 006 | a m||| 00||| | ||
| 007 | cr|uuu---uuuuu | ||
| 008 | 100827s2009 |||| o||u| ||||||ger d | ||
| 020 | |a 9783798321458 |9 978-3-7983-2145-8 | ||
| 024 | 7 | |a urn:nbn:de:kobv:83-opus-22585 |2 urn | |
| 035 | |a (OCoLC)917689727 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV036636895 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-83 | ||
| 084 | |a ZM 7680 |0 (DE-625)160562: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Klaus, Manuela |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau |c von Manuela Klaus |
| 264 | 1 | |a Berlin |b Universitätsvel. der TU |c 2009 | |
| 300 | |a 1 Online-Ressource (VI, 106 Bl.) |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b c |2 rdamedia | ||
| 338 | |b cr |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Zugl.: Diss., Berlin, Techn. Univ., 2009 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 856 | 4 | 0 | |u https://doi.org/10.14279/depositonce-2174 |x Resolving-System |z kostenfrei |3 Volltext |
| 912 | |a ebook | ||
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-020556602 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804143253182742528 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Klaus, Manuela |
| author_facet | Klaus, Manuela |
| author_role | aut |
| author_sort | Klaus, Manuela |
| author_variant | m k mk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV036636895 |
| classification_rvk | ZM 7680 |
| collection | ebook |
| ctrlnum | (OCoLC)917689727 (DE-599)BVBBV036636895 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| doi_str_mv | 10.14279/depositonce-2174 |
| format | Thesis Electronic eBook |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01225nmm a2200337 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV036636895</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20160211 </controlfield><controlfield tag="006">a m||| 00||| </controlfield><controlfield tag="007">cr|uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">100827s2009 |||| o||u| ||||||ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783798321458</subfield><subfield code="9">978-3-7983-2145-8</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">urn:nbn:de:kobv:83-opus-22585</subfield><subfield code="2">urn</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)917689727</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV036636895</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7680</subfield><subfield code="0">(DE-625)160562:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Klaus, Manuela</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau</subfield><subfield code="c">von Manuela Klaus</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin</subfield><subfield code="b">Universitätsvel. der TU</subfield><subfield code="c">2009</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource (VI, 106 Bl.)</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Diss., Berlin, Techn. Univ., 2009</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://doi.org/10.14279/depositonce-2174</subfield><subfield code="x">Resolving-System</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ebook</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-020556602</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV036636895 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T22:44:43Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783798321458 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-020556602 |
| oclc_num | 917689727 |
| open_access_boolean | 1 |
| owner | DE-83 |
| owner_facet | DE-83 |
| physical | 1 Online-Ressource (VI, 106 Bl.) Ill., graph. Darst. |
| psigel | ebook |
| publishDate | 2009 |
| publishDateSearch | 2009 |
| publishDateSort | 2009 |
| publisher | Universitätsvel. der TU |
| record_format | marc |
| spelling | Klaus, Manuela Verfasser aut Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau von Manuela Klaus Berlin Universitätsvel. der TU 2009 1 Online-Ressource (VI, 106 Bl.) Ill., graph. Darst. txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier Zugl.: Diss., Berlin, Techn. Univ., 2009 (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content https://doi.org/10.14279/depositonce-2174 Resolving-System kostenfrei Volltext |
| spellingShingle | Klaus, Manuela Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau |
| title_auth | Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau |
| title_exact_search | Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau |
| title_full | Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau von Manuela Klaus |
| title_fullStr | Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau von Manuela Klaus |
| title_full_unstemmed | Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau von Manuela Klaus |
| title_short | Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau |
| title_sort | rontgendiffraktometrische ermittlung tiefenabhangiger eigenspannungsverteilungen in dunnschichtsystemen mit komplexem aufbau |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| url | https://doi.org/10.14279/depositonce-2174 |
| work_keys_str_mv | AT klausmanuela rontgendiffraktometrischeermittlungtiefenabhangigereigenspannungsverteilungenindunnschichtsystemenmitkomplexemaufbau |