Sherman, A. (2008). Atomic layer deposition for nanotechnology: An enabling process for nanotechnology fabrication. Ivoryton Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Sherman, Arthur. Atomic Layer Deposition for Nanotechnology: An Enabling Process for Nanotechnology Fabrication. Ivoryton, Conn: Ivoryton Press, 2008.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Sherman, Arthur. Atomic Layer Deposition for Nanotechnology: An Enabling Process for Nanotechnology Fabrication. Ivoryton Press, 2008.
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