Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Volltext Volltext http://d-nb.info/1000821986/34 |
| Physical Description: | XIV, 217 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV036079787 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20100901 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 100316s2010 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 1000821986 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)644063488 | ||
| 035 | |a (DE-599)DNB1000821986 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-384 |a DE-473 |a DE-703 |a DE-1051 |a DE-824 |a DE-29 |a DE-12 |a DE-91 |a DE-19 |a DE-1049 |a DE-92 |a DE-739 |a DE-898 |a DE-355 |a DE-706 |a DE-20 |a DE-1102 |a DE-29T | ||
| 084 | |a 620 |2 sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Lemberger, Martin |e Verfasser |0 (DE-588)140771026 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik |c vorgelegt von Martin Lemberger |
| 264 | 1 | |c 2010 | |
| 300 | |a XIV, 217 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Erlangen-Nürnberg, Diss., 2010 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Zirkoniumkomplexe |0 (DE-588)4223118-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Hafniumkomplexe |0 (DE-588)4223116-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Titankomplexe |0 (DE-588)4223132-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Zirkoniumkomplexe |0 (DE-588)4223118-8 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Hafniumkomplexe |0 (DE-588)4223116-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Titankomplexe |0 (DE-588)4223132-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 776 | 0 | 8 | |i Erscheint auch als |n Online-Ausgabe |o urn:nbn:de:bvb:29-opus-16763 |
| 856 | 4 | |u https://open.fau.de/handle/openfau/1120 |x Verlag |z kostenfrei |3 Volltext | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-16763 |x Resolving-System |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | |u http://d-nb.info/1000821986/34 |x Langzeitarchivierung Nationalbibliothek | |
| 912 | |a ebook | ||
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018970881 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804141136533520384 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Lemberger, Martin |
| author_GND | (DE-588)140771026 |
| author_facet | Lemberger, Martin |
| author_role | aut |
| author_sort | Lemberger, Martin |
| author_variant | m l ml |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV036079787 |
| collection | ebook |
| ctrlnum | (OCoLC)644063488 (DE-599)DNB1000821986 |
| discipline | Maschinenbau / Maschinenwesen |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01853nam a2200433 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV036079787</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20100901 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">100316s2010 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">1000821986</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)644063488</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB1000821986</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-384</subfield><subfield code="a">DE-473</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-1051</subfield><subfield code="a">DE-824</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-1049</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-739</subfield><subfield code="a">DE-898</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-20</subfield><subfield code="a">DE-1102</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">620</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Lemberger, Martin</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)140771026</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Martin Lemberger</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2010</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XIV, 217 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg, Diss., 2010</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Zirkoniumkomplexe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4223118-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hafniumkomplexe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4223116-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Titankomplexe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4223132-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Zirkoniumkomplexe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4223118-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Hafniumkomplexe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4223116-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Titankomplexe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4223132-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Online-Ausgabe</subfield><subfield code="o">urn:nbn:de:bvb:29-opus-16763</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2=" "><subfield code="u">https://open.fau.de/handle/openfau/1120</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-16763</subfield><subfield code="x">Resolving-System</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2=" "><subfield code="u">http://d-nb.info/1000821986/34</subfield><subfield code="x">Langzeitarchivierung Nationalbibliothek</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ebook</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018970881</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV036079787 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T22:11:05Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018970881 |
| oclc_num | 644063488 |
| open_access_boolean | 1 |
| owner | DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-20 DE-1102 DE-29T |
| owner_facet | DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-20 DE-1102 DE-29T |
| physical | XIV, 217 S. Ill., graph. Darst. |
| psigel | ebook |
| publishDate | 2010 |
| publishDateSearch | 2010 |
| publishDateSort | 2010 |
| record_format | marc |
| spelling | Lemberger, Martin Verfasser (DE-588)140771026 aut Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik vorgelegt von Martin Lemberger 2010 XIV, 217 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Diss., 2010 Zirkoniumkomplexe (DE-588)4223118-8 gnd rswk-swf Hafniumkomplexe (DE-588)4223116-4 gnd rswk-swf Titankomplexe (DE-588)4223132-2 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Zirkoniumkomplexe (DE-588)4223118-8 s Hafniumkomplexe (DE-588)4223116-4 s Titankomplexe (DE-588)4223132-2 s DE-604 Erscheint auch als Online-Ausgabe urn:nbn:de:bvb:29-opus-16763 https://open.fau.de/handle/openfau/1120 Verlag kostenfrei Volltext https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-16763 Resolving-System kostenfrei Volltext http://d-nb.info/1000821986/34 Langzeitarchivierung Nationalbibliothek |
| spellingShingle | Lemberger, Martin Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik Zirkoniumkomplexe (DE-588)4223118-8 gnd Hafniumkomplexe (DE-588)4223116-4 gnd Titankomplexe (DE-588)4223132-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4223118-8 (DE-588)4223116-4 (DE-588)4223132-2 (DE-588)4113937-9 |
| title | Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik |
| title_auth | Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik |
| title_exact_search | Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik |
| title_full | Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik vorgelegt von Martin Lemberger |
| title_fullStr | Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik vorgelegt von Martin Lemberger |
| title_full_unstemmed | Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik vorgelegt von Martin Lemberger |
| title_short | Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik |
| title_sort | chemische gasphasenabscheidung von metallsilicatschichten aus einquellen ausgangsstoffen fur anwendungen in der mikroelektronik |
| topic | Zirkoniumkomplexe (DE-588)4223118-8 gnd Hafniumkomplexe (DE-588)4223116-4 gnd Titankomplexe (DE-588)4223132-2 gnd |
| topic_facet | Zirkoniumkomplexe Hafniumkomplexe Titankomplexe Hochschulschrift |
| url | https://open.fau.de/handle/openfau/1120 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-16763 http://d-nb.info/1000821986/34 |
| work_keys_str_mv | AT lembergermartin chemischegasphasenabscheidungvonmetallsilicatschichtenauseinquellenausgangsstoffenfuranwendungenindermikroelektronik |