Lemberger, M. (2010). Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Lemberger, Martin. Chemische Gasphasenabscheidung Von Metallsilicatschichten Aus Einquellen-Ausgangsstoffen Für Anwendungen in Der Mikroelektronik. 2010.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Lemberger, Martin. Chemische Gasphasenabscheidung Von Metallsilicatschichten Aus Einquellen-Ausgangsstoffen Für Anwendungen in Der Mikroelektronik. 2010.
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