Einsatz von Mikrospiegelarrays in der elektronischen Speckle-Muster-Interferometrie:
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Aachen
Shaker
2009
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 GRUNDLAGEN SPECKLE-MESSTECHNIK 5 2.1
SPECKLE-EFFEKT 5 2.2 SPECKLE-INTERFEROMETRIE 7 2.3
EMPFINDLICHKEITSVEKTOR 8 2.4 INTERFEROMETERARTEN 10 2.4.1
OUT-OF-PLANE-INTERFEROMETER 10 2.4.2 SHEARING-INTERFEROMETER 11 2.4.3
IN-PLANE-INTERFEROMETER 12 2.5 DEFORMATIONSMESSUNG 14 2.6 FORMVERMESSUNG
15 2.6.1 ZWEI-WELLENLAENGEN-VERFAHREN 16 2.6.2 ZWEI-WINKEL-VERFAHREN 18
2.7 PHASENSCHIEBEN 18 2.7.1 ALGORITHMEN 19 2.7.2 ZEITLICHES
PHASENSCHIEBEN 23 2.7.3 RAEUMLICHES PHASENSCHIEBEN 24 2.7.4
PHASENBERECHNUNG IM FREQUENZBEREICH 26 2.8 ENTFALTUNG 27 3
FORMVERMESSUNG MIT RAEUMLICHER PHASENMODULATION 31 3.1 GRENZEN DER
AUFLOESBARKEIT 31 3.2 DESENSIBILISIERTE FORMVERMESSUNG 33 3.2.1
PUNKTUELLE AUSWERTUNG 36 3.2.2 FLAECHIGE AUSWERTUNG 37 3.2.3 NEUE
INTERPRETATION DER MESSRESULTATE 39 3.3 EINBINDUNG DER RAEUMLICHEN
PHASENMODULATION IN DEN MESSABLAUF 42 3.3.1 ALTERNATIVER MESSABLAUF 44
3.3.2 VORTEIL DER DESENSIBILISIERTEN FORMVERMESSUNG ... 45
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/996020136 DIGITALISIERT
DURCH INHALTSVERZEICHNIS 3.4 RAEUMLICHE PHASENMODULATOREN 46 4
EXPERIMENTELLE ANORDNUNG 49 4.1 INTEGRIERTES MIKROSPIEGELARRAY (MSA) 49
4.1.1 AUFBAU MSA 49 4.1.2 FUNKTION MSA 52 4.1.3 KOMMUNIKATION ZWISCHEN
MSA UND RECHNER ... 55 4.2 INTEGRATION DES MSA IN ESPI-MESSSYSTEM ZUR
FORMVER- MESSUNG 58 4.2.1 POSITIONIERUNG IM MESSOBJEKTPFAD 59 4.2.2
POSITIONIERUNG IM REFERENZPFAD 61 4.2.3 VERGLEICH BEIDER MESSSYSTEME 64
5 MESSUNGEN UND RESULTATE 67 5.1 AUTOMATISIERTE DETEKTION VON
OBERFLAECHENBEREICHEN MIT GROSSEN HOEHENGRADIENTEN 67 5.1.1 VORVERARBEITUNG
68 5.1.2 ERKENNUNG VON PHASENUEBERGAENGEN 72 5.1.3 LOKALISIERUNG VON
OBERFLAECHENBEREICHEN MIT GROSSEN HOEHENGRADIENTEN 75 5.2 MESSERGEBNISSE
DESENSIBILISIERTER FORMVERMESSUNGEN ... 79 5.3 EINSATZ VON
BILDBEARBEITUNG VS. MSA ZUR AUFLOESUNGSER- HOEHUNG 82 5.4 KOMPENSATION VON
ABBILDUNGSFEHLERN IM MESSSYSTEM ... 82 5.4.1 LINSEN-ABERRATIONEN 83
5.4.2 INTERFERENZEN DURCH MSA-SCHUTZGLAS 94 5.4.3 BEUGUNG AM MSA 100 6
SIMULATION DER BEUGUNGSERSCHEINUNGEN AM MIKROSPIEGELARRAY 103 6.1
FRESNELBEUGUNG UND FRAUNHOFERBEUGUNG 103 6.2 VERGLEICH VON SIMULATIONEN
FUER NAHFELD- UND FERNFELDKAL- KULATIONEN 106 6.3 QUALITAET DES
SIMUIATIONSMODELLS 109 6.4 EINFLUSS EINER DETAILGETREUEN MODELLIERUNG
111 7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 115 LITERATU
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