Elektrische Werkstückantastung für Nanometer aufgelöste Oberflächen- und Koordinatenmesstechnik:
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| Format: | Thesis Book |
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| Published: |
Aachen
Shaker
2009
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| Series: | Berichte aus dem Lehrstuhl Qualitätsmanagement und Fertigungsmeßtechnik, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
18 |
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INHALTSVERZEICHNIS I
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
2 WERKSTUECKANTASTUNG FUER NANOMETER AUFGELOESTE OBERFLAECHEN- UND
KOORDINATENMESSTECHNIK - STAND DER TECHNIK 3
2.1 2,5D OBERFLAECHENMESSTECHNIK MIT 1D TASTSYSTEMEN 4
2.1.1 ANWENDUNG VON 1 D-TASTSYSTEMEN FUER 2,5D-TOPOGRAPHIEMESSUNGEN IM
MIKRO- UND NANOBEREICH 5
2.1.2 BEISPIELE FUER 2,5 D TOPOGRAPHIEMESSSYSTEME 10
2.2 3D MIKRO-KOORDINATENMESSTECHNIK MIT 3D TASTSYSTEMEN 17
2.2.1 VIBRO-TAKTILE ANTASTUNG 19
2.2.2 TAKTILE ANTASTUNG 20
2.3 DEFIZITE DER BESCHRIEBENEN SYSTEME 26
3 ZIELSETZUNG UND WISSENSCHAFTLICHER ANSATZ 28
3.1 ANFORDERUNGEN AN EIN UNIVERSELLES TASTSYSTEM FUER DIE DIMENSIONELLE
MIKRO- UND NANOMESSTECHNIK 29
3.1.1 ALLGEMEINE ANFORDERUNGEN AN TASTSYSTEME 30
3.1.2 SPEZIFISCHE ANFORDERUNGEN DER MIKRO- UND NANOMESSTECHNIK 31
3.2 AUSWAHL EINER ELEKTRISCHEN ANTASTWECHSELWIRKUNG ZUR EINGEHENDEN
UNTERSUCHUNG 33
4 ENTWICKLUNG EINES TASTSYSTEMS MIT ELEKTRISCHER WECHSELWIRKUNG ZUR
WERKSTUECKANTASTUNG 35
4.1 ELEKTRISCHE WECHSELWIRKUNGEN MIT GLEICHSTROM 35
4.1.1 ELEKTRISCHER UND MECHANISCHER KONTAKT 36
4.1.2 LONENLEITUNG IN LUFT 41
4.1.3 DIELEKTRISCHER DURCHSCHLAG 42
4.1.4 FELDEMISSION, TUNNELEFFEKT UND SCHOTTKY-EFFEKT 44
4.1.5 SCHLUSSFOLGERUNGEN FUER DIE KONZEPTION DES VERSUCHSAUFBAUS 51
4.2 KONZEPTION DES VERSUCHSAUFBAUS 52
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/994782349
DIGITALISIERT DURCH
IMAGE 2
II INHALTSVERZEICHNIS
4.3 SENSORELEKTRONIK 54
4.3.1 SONDENSPANNUNGSQUELLE 55
4.3.2 WANDLER- UND VERSTAERKEREINHEIT 56
4.3.3 SCHIRMUNG VON ELEKTROMAGNETISCHEN STOERUNGEN 57
4.3.4 TEST DER SCHALTUNG 58
4.4 SONDENHALTERUNG UND SONDEN 59
4.5 NANO-POSITIONIEREINHEIT SIOS NMM-1 61
4.6 KAMERA UND OSZILLOSKOP 64
4.7 SOFTWARE 64
5 UNTERSUCHUNG DER MESSTECHNISCHEN EIGENSCHAFTEN 66
5.1 UNTERSUCHUNG DER KENNLINIE DES TASTSYSTEMS 66
5.1.1 VORGEHENSWEISE 67
5.1.2 MESSERGEBNISSE 68
5.1.3 LANGZEITSTABILITAET 72
5.2 2,5D OBERFLAECHENMESSTECHNIK 73
5.2.1 STUFENHOEHENMESSUNGEN 73
5.2.2 TOPOGRAPHIEMESSUNGEN 77
5.3 3 D KOORDINATENMESSTECHNIK 81
5.3.1 TASTELEMENTE FUER ISOTROPE ANTASTUNG 81
5.3.2 MINIATUR-KUGELSTAB 87
5.3.3 3D ANTASTABWEICHUNG IN ANLEHNUNG AN ISO 10360-2 88
5.3.4 LAENGENMESSABWEICHUNG UND REPRODUZIERBARKEIT 91
5.3.5 ANWENDUNG VON TASTERBAEUMEN 97
5.4 UNTERSUCHUNG UND BEWERTUNG DER INVASIVITAET 103
5.5 BEWERTUNG DER MESSTECHNISCHEN EIGENSCHAFTEN 105
6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 109
7 ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 110
8 LITERATUR 111
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