Synthese und Nachweis neuer schwefelhaltiger Moleküle und Ionen im RF-Plasma:
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Inhalt
1 Einleitung 17
1.1 Einführung 17
1.2 Stand der Forschung 21
1.3 Problemstellung 22
2 Grundlagen 23
2.1 Quantenchemische Rechnungen 23
2.2 Rotationsspektroskopie 34
2.3 Massenspektrometrie 39
3 Ergebnisse und Diskussion 41
3.1 Ungeladene Moleküle 11
3.1.1 Synthese und Nachweis von DSOD 41
3.1.2 Quantenchemische Rechnungen 18
3.2 Kationen fil
3.2.1 Massenspektren 61
3.2.2 Quantenchemische Rechnungen 91
4 Zusammenfassung und Ausblick 101
4.1 Nachweis von DSOD 1(11
4.2 Quantenchemische Rechnungen 1112
4.3 Massenspektrometrie 1(11
5 Experimentelles 107
5.1 Aufbau der Messzelle 1(17
11
5.2 Radiofrequenzgenerator 108
5.3 Plasma Prozess Monitor 1(19
5.4 Mikrowellenspektrometer 111
5.5 Software und Hardware 114
5.6 Synthese von D2S 116
A Anhang 119
A.l Vollständige QO-Daten der ungeladenen Moleküle 120
All SiS 121)
A.1.2 H.SiS 122
A.1.3 (H.,SiS), 126
A.l.-4 HSN Oll
A.1.5 HXS 131
A.2 Vollständige QC-Daten der Kationen 138
A.2.1 HS' 138
A.2.2 H./)' 110
A.2.3 H,S' 114
A.2.4 H2Sj 148
Literatur 153
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