Elektronenstrahlrekristallisierte Silicium-Solarzellen auf Glas-Substraten: Betrachtung von Struktur und Grenzflächen
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
Hut
2008
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Physik
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 170 S. Ill., graph. Darst. 21 cm, 237 gr. |
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG UND MOTIVATION _ -1 - 2 PHYSIK DER
KRISTALLINEN SI-SOLARZELLE IN HINBLICK AUF DIE POLYKRISTALLINE SL-
DUENNSCHICHTSOLARZELLE -6- 2.1 ALLGEMEINES -6- 2.2 SLLICIUM - 6 - 2.3
BAENDERMODELL - 7 - 2.4 THEORETISCHER WIRKUNGSGRAD -9- 2.5 DIREKTER UND
INDIREKTER HALBLEITER -11 - 2.6 REKOMBINATION -12- 2.7 DIODENMODELL -15-
2.8 DER P/N-OBERGANG -19 - 2.9 POLYKRISTALLINE SI-DUENNSCHICHTSOLARZELLEN
-22- 3 GLAESER ALS SUBSTRATE FUER SI-DUENNSCHICHT-SOLARZELLEN - 24 - 3.1
ALLGEMEINES -24- 3.2 DAS GLASSUBSTRAT AF45 - 29 - 4 THEORETISCHE
GRUNDLAGEN ZU DEN UNTERSUCHTEN SCHICHTEN - 33 - 4.1 ALLGEMEINES -33- 4.2
HISTORIE (PROJEKTANFORDERUNGEN) - 33 - 4.3 FUER DEN ZELLAUFBAU
UNTERSUCHTE SCHICHTEN - 36 - 4.3.1 ALLGEMEINES -36- 4.3.2 METALLNITRIDE
-38- 4.3.3 BENETZUNGSHILFEN -44- 4.3.4 SMCIUM. -55- 4.3.5 DECKSCHICHTEN.
-57- 5 ERGEBNISSE DER STRUKTUR- UND GRENZFLAECHEN-ANALYSE - 59 - 5.1
ALLGEMEINES -59- 5.2 METALLNITRIDE -59- 5.2.1
ALUMINIUMNITRID/TITANNITRID. -60- 5.2.2 TITANNITRID. -62- 5.2.3
TANTALNITRID. -67- 5. BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/99128528X DIGITALISIERT DURCH 7 REFERENZEN -109- 8
VEROEFFENTLICHUNGEN, POSTER - -115 - 9 ANHANG PROZESSANLAGEN UND
GRUNDLAGEN - 119 - 9.1 PLASMA -119- 9.2 KATHODENZERSTAEUBUNG (SPUTTERN)
-120 - 9.3 CHEM. GASPHASENABSCHEIDUNG BEI NIEDRIGEM DRUCK (LPCVD) -126-
9.4 PLASMAUNTERSTUETZTE ABSCHEIDUNG AUS DER GASPHASE (PECVD) -127- 9.5
ELEKTRONENSTRAHIREKR!STALLISATIONSANLAGE(ERA) -129- 9.6 WACHSTUM DUENNER
SCHICHTEN -132- 10 ANHANG MESS- UND ANALYSEVERFAHREN - 145 - 10.1
ELASTIC RECOIL DETECTION ANALYSIS (ERDA) -145- 10.2
ELEKTRONENMIKROSKOPIE (EM) -147 - 10.2.1 RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
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10.2.3 TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE (TEW. - 153 - 10.3
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| spellingShingle | Nelles, Nicole 1972- Elektronenstrahlrekristallisierte Silicium-Solarzellen auf Glas-Substraten Betrachtung von Struktur und Grenzflächen Silicium - Dünne Schicht - Floatglas - Substrat <Mikroelektronik> - Dünnschichtsolarzelle Silicium - PECVD-Verfahren - Rekristallisation - Elektronenstrahl - Floatglas - Substrat <Mikroelektronik> Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 gnd Floatglas (DE-588)4383965-4 gnd Rekristallisation (DE-588)4177655-0 gnd Elektronenstrahl (DE-588)4151894-9 gnd Dünnschichtsolarzelle (DE-588)4150833-6 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd |
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