Baglio, S., Castorina, S., & Savalli, N. (2007). Scaling issues and design of MEMS. Wiley.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Baglio, Salvatore, Salvatore Castorina, und Nicolò Savalli. Scaling Issues and Design of MEMS. Chichester: Wiley, 2007.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Baglio, Salvatore, et al. Scaling Issues and Design of MEMS. Wiley, 2007.
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